[實用新型]一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理隔離裝置

有效

• 申請號: 201822003929.6
• 申請日: 2018-12-01
• 公開（公告）號: CN209227056U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發明（設計）人: 任丹;張紅;關仁鶴;楊志彬
• 申請（專利權）人: 安徽方興光電新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102
• 代理人: 王琪

本實用新型公開了一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理隔離裝置，包括卷繞鍍膜設備本體，所述卷繞鍍膜設備本體的內部位于鍍膜鼓的表面等角度設有六組磁控濺射腔室，且卷繞鍍膜設備本體的內部位于每兩組磁控濺射腔室之間均設有真空腔室，所述真空腔室與磁控濺射腔室之間設有溢出口，且溢出口內安裝有單向閥，所述真空腔室的外側安裝有真空泵，且真空泵的進氣端與真空腔室的抽氣口連接固定，所述真空泵的出氣端通過管道固定連接有氣體凈化裝置。該裝置結構設計簡單合理，操作方便，有效的防止雜氣溢出到其他腔室，保證卷繞鍍膜設備使用時的真空度，同時便于對雜氣進行處理，安全穩定，適用范圍廣，有利于推廣和普及。

技術領域

本實用新型屬于雜氣清理技術領域，具體涉及一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理隔離裝置。

背景技術

目前柔性透明導電薄膜沉積技術已經在觸摸屏行業廣泛推廣，柔性透明導電膜通過卷繞鍍膜設備鍍制，但是在柔性卷繞鍍膜設備中的濺射腔室在對柔性透明導電薄膜基材濺射的時候往往會有多余的工藝氣體進入相鄰的腔室，從而引起不同的工藝氣體混合影響柔性透明導電薄膜鍍制的質量，同時對于雜氣進入其他濺射腔室也會影響卷繞鍍膜設備內部的真空度，影響卷繞鍍膜設備的產品穩定性，不利于廣泛的推廣和普及。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理及隔離裝置，結構設計簡單合理，操作方便，有效的防止雜氣溢出到其他腔室，同時便于對雜氣進行處理，安全穩定，適用范圍廣，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理隔離裝置，包括卷繞鍍膜設備本體，所述卷繞鍍膜設備本體的內部位于鍍膜鼓的表面等角度設有六組磁控濺射腔室，且卷繞鍍膜設備本體的內部位于每兩組磁控濺射腔室之間均設有真空腔室，所述真空腔室與磁控濺射腔室之間設有溢出口，且溢出口內安裝有單向閥，所述真空腔室的外側安裝有真空泵，且真空泵的進氣端與真空腔室的抽氣口連接固定，所述真空泵的出氣端通過管道固定連接有氣體凈化裝置。

優選的，所述卷繞鍍膜設備本體的兩側分別連接有內部設置輥筒的放卷室和收卷室，且卷繞鍍膜設備本體的內部設有用于抽真空的泵體。

優選的，所述單向閥包括焊接在溢出口內且一端伸入真空腔室內的通氣管，所述通氣管伸入真空腔室的一端內部滑動連接有塞柱，且塞柱的一端伸出通氣管一體式連接有擋板，所述擋板與通氣管之間固定安裝有回力彈簧，所述塞柱的端部設有與塞柱一側連通的通孔，且通氣管伸入真空腔室的一端表面設有與通孔相配合的氣孔。

優選的，所述氣體凈化裝置包括反應罐，且反應罐的頂部通過法蘭固定安裝有罐蓋，所述罐蓋的一側穿插有底端伸入反應罐內部底端的連接管，且連接管的頂端與真空泵的出氣端通過管道連接固定，所述反應罐的底部設有帶閥門的出料管，且反應罐的內部底端位于出料管的外側嵌裝有電加熱管，所述反應罐的一側頂端焊接有帶端蓋的進料管，所述罐蓋的頂部另一側焊接有出氣管，且罐蓋的底部位于出氣管的外側安裝有填充活性炭的濾袋。

優選的，所述反應罐的內部底端為開口向上的曲面弧型，且反應罐的表面設有帶刻度的觀察窗。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：

1、通過在磁控濺射腔室之間設置真空腔室可以防止雜氣進入不同的磁控濺射腔室內，同時真空腔室內的單向閥可以實現只可以使雜氣進入真空腔室，而不能使雜氣從真空腔室回流到磁控濺射腔室內；

2、利用真空泵可以把溢流到真空腔室內的雜氣抽出真空腔室內，同時也能保證真空腔室內的真空度，而雜氣送入氣體凈化裝置內的反應罐中與溶液發生置換反應，有效的把可以再次使用或者比較稀有的物質分離出來，同時電加熱管在需要的時候可以對溶液進行加熱提高置換反應的效率，填充活性炭的濾袋有效的對置換后產生的氣體進行過濾，減少環境污染。

附圖說明

圖1為本實用新型的結構示意圖；