[實用新型]一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理隔離裝置

有效

• 申請號: 201822003929.6
• 申請日: 2018-12-01
• 公開（公告）號: CN209227056U
• 公開（公告）日: 2019-08-09
• 發明（設計）人: 任丹;張紅;關仁鶴;楊志彬
• 申請（專利權）人: 安徽方興光電新材料科技有限公司
• 主分類號: C23C14/56
• 分類號: C23C14/56;C23C14/35
• 代理公司: 蚌埠鼎力專利商標事務所有限公司 34102
• 代理人: 王琪

1.一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理隔離裝置，包括卷繞鍍膜設備本體(1)，其特征在于：所述卷繞鍍膜設備本體(1)的內部位于鍍膜鼓的表面等角度設有六組磁控濺射腔室(2)，且卷繞鍍膜設備本體(1)的內部位于每兩組磁控濺射腔室(2)之間均設有真空腔室(3)，所述真空腔室(3)與磁控濺射腔室(2)之間設有溢出口(4)，且溢出口(4)內安裝有單向閥(5)，所述真空腔室(3)的外側安裝有真空泵(7)，且真空泵(7)的進氣端與真空腔室(3)的抽氣口(6)連接固定，所述真空泵(7)的出氣端通過管道固定連接有氣體凈化裝置(8)。

2.根據權利要求1所述的一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理隔離裝置，其特征在于：所述卷繞鍍膜設備本體(1)的兩側分別連接有內部設置輥筒的放卷室和收卷室，且卷繞鍍膜設備本體(1)的內部設有用于抽真空的泵體。

3.根據權利要求1所述的一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理隔離裝置，其特征在于：所述單向閥(5)包括焊接在溢出口(4)內且一端伸入真空腔室(3)內的通氣管(51)，所述通氣管(51)伸入真空腔室(3)的一端內部滑動連接有塞柱(52)，且塞柱(52)的一端伸出通氣管(51)一體式連接有擋板(53)，所述擋板(53)與通氣管(51)之間固定安裝有回力彈簧(54)，所述塞柱(52)的端部設有與塞柱(52)一側連通的通孔(55)，且通氣管(51)伸入真空腔室(3)的一端表面設有與通孔(55)相配合的氣孔(56)。

4.根據權利要求1所述的一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理隔離裝置，其特征在于：所述氣體凈化裝置(8)包括反應罐(81)，且反應罐(81)的頂部通過法蘭固定安裝有罐蓋(82)，所述罐蓋(82)的一側穿插有底端伸入反應罐(81)內部底端的連接管(83)，且連接管(83)的頂端與真空泵(7)的出氣端通過管道連接固定，所述反應罐(81)的底部設有帶閥門的出料管(84)，且反應罐(81)的內部底端位于出料管(84)的外側嵌裝有電加熱管(88)，所述反應罐(81)的一側頂端焊接有帶端蓋的進料管(87)，所述罐蓋(82)的頂部另一側焊接有出氣管(85)，且罐蓋(82)的底部位于出氣管(85)的外側安裝有填充活性炭的濾袋(86)。

5.根據權利要求4所述的一種柔性卷繞鍍膜設備用雜氣清理隔離裝置，其特征在于：所述反應罐(81)的內部底端為開口向上的曲面弧型，且反應罐(81)的表面設有帶刻度的觀察窗。