[實(shí)用新型]腔室用介質(zhì)引入結(jié)構(gòu)和半導(dǎo)體處理設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821999837.1
• 申請(qǐng)日: 2018-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN208908215U
• 公開（公告）日: 2019-05-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧曾紅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張?zhí)焓?/td>

本實(shí)用新型公開了一種腔室用介質(zhì)引入結(jié)構(gòu)和半導(dǎo)體處理設(shè)備。包括：引入管，具有介質(zhì)引入端，所述介質(zhì)引入端用于伸入所述腔室內(nèi)；彈性連接組件，套設(shè)在所述引入管外部，所述彈性連接組件的第一端用于與所述腔室密封連接，所述彈性連接組件的第二端與所述引入管連接，以沿所述腔室的軸向調(diào)整所述介質(zhì)引入端在所述腔室內(nèi)的位置。借助彈性連接組件的彈性形變，介質(zhì)引入端可以沿腔室的軸向移動(dòng)，從而可以調(diào)整介質(zhì)引入端在腔室內(nèi)的位置，因此，即便腔室內(nèi)的介質(zhì)連接點(diǎn)或者介質(zhì)連接端出現(xiàn)加工或者安裝誤差，也可以利用彈性連接組件的彈性變形，彌補(bǔ)這些誤差，從而可以提高介質(zhì)引入結(jié)構(gòu)與腔室連接的穩(wěn)定性和可靠性。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種腔室用介質(zhì)引入結(jié)構(gòu)和一種半導(dǎo)體處理設(shè)備。

背景技術(shù)

一般地，在有密封要求的半導(dǎo)體處理設(shè)備中，半導(dǎo)體處理設(shè)備一般包括工藝腔室以及設(shè)置在工藝腔室內(nèi)加熱系統(tǒng)，為了冷卻或保溫工藝腔室內(nèi)的局部結(jié)構(gòu)，例如，預(yù)熱腔室存在燈加熱，預(yù)熱腔室內(nèi)的某些局部的傳動(dòng)結(jié)構(gòu)就需要從腔室外部引入冷卻水進(jìn)行冷卻，再例如，化學(xué)氣相沉積設(shè)備中的噴淋裝置，需要從腔室外部引入高溫的恒溫導(dǎo)熱油維持局部的恒定溫度，從腔室外部引入冷卻水或者恒溫介質(zhì)則需要液體引入結(jié)構(gòu)。

傳統(tǒng)地液體引入結(jié)構(gòu)，大多是將一個(gè)焊接有金屬管的法蘭固定到腔室上，內(nèi)側(cè)通過硬管連接，由于存在加工、裝配誤差，所以實(shí)際裝配過程中，原設(shè)計(jì)的硬管連接點(diǎn)和焊接法蘭位置會(huì)存在偏差，用接頭連接好以后，接頭處受力，容易漏液。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種腔室用介質(zhì)引入結(jié)構(gòu)和一種半導(dǎo)體處理設(shè)備。

為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型的第一方面，提供了一種腔室用介質(zhì)引入結(jié)構(gòu)，包括：

引入管，具有介質(zhì)引入端，所述介質(zhì)引入端用于伸入所述腔室內(nèi)；

彈性連接組件，套設(shè)在所述引入管外部，所述彈性連接組件的第一端用于與所述腔室密封連接，所述彈性連接組件的第二端與所述引入管連接，以沿所述腔室的軸向調(diào)整所述介質(zhì)引入端在所述腔室內(nèi)的位置。

可選地，所述彈性連接組件的第二端可預(yù)先繞所述腔室的軸向偏轉(zhuǎn)或轉(zhuǎn)動(dòng)預(yù)設(shè)角度后，其第一端再與所述腔室密封連接；和/或，

所述彈性連接組件的第二端可預(yù)先沿所述腔室的徑向平移預(yù)設(shè)距離后，其第一端再與所述腔室密封連接。

可選地，所述彈性連接組件包括波紋管、密封轉(zhuǎn)動(dòng)件和固定套，所述固定套套設(shè)在所述引入管上，所述固定套的內(nèi)孔與所述引入管的外周壁固定連接，所述固定套朝向所述波紋管的端面與所述波紋管的第二端固定連接，所述波紋管的第一端經(jīng)由所述密封轉(zhuǎn)動(dòng)件與所述腔室密封連接，所述波紋管的第二端經(jīng)由所述固定套與所述引入管固定連接。

可選地，所述密封轉(zhuǎn)動(dòng)件包括活套法蘭以及可轉(zhuǎn)動(dòng)地套設(shè)在所述活套法蘭內(nèi)的安裝法蘭，所述波紋管的第一端與所述安裝法蘭固定連接，并且，所述安裝法蘭經(jīng)由所述活套法蘭壓入所述腔室以與所述腔室密封連接。

可選地，所述固定套呈板狀結(jié)構(gòu)，所述板狀結(jié)構(gòu)的內(nèi)孔與所述引入管的外周壁焊接，所述板狀結(jié)構(gòu)朝向所述波紋管的端面與所述波紋管焊接。

可選地，所述介質(zhì)引入結(jié)構(gòu)還包括引入接頭，所述引入接頭與所述介質(zhì)引入端密封連接。

可選地，所述引入接頭包括VCR接頭或卡套接頭。

可選地，所述介質(zhì)引入結(jié)構(gòu)還包括供給接頭，所述引入管還具有介質(zhì)供給端，所述供給接頭與所述介質(zhì)供給端密封連接。

可選地，所述供給接頭包括第一快插接頭、插置在所述第一快插接頭內(nèi)的第二快插接頭以及插置在所述第二快插接頭內(nèi)的功能模塊接頭。