[實用新型]腔室用介質引入結構和半導體處理設備

有效

• 申請號: 201821999837.1
• 申請日: 2018-11-30
• 公開（公告）號: CN208908215U
• 公開（公告）日: 2019-05-28
• 發明（設計）人: 鄧曾紅
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 北京天昊聯合知識產權代理有限公司 11112
• 代理人: 彭瑞欣;張天舒

1.一種腔室用介質引入結構，其特征在于，包括：

引入管，具有介質引入端，所述介質引入端用于伸入所述腔室內；

彈性連接組件，套設在所述引入管外部，所述彈性連接組件的第一端用于與所述腔室密封連接，所述彈性連接組件的第二端與所述引入管連接，以沿所述腔室的軸向調整所述介質引入端在所述腔室內的位置。

2.根據權利要求1所述的介質引入結構，其特征在于，所述彈性連接組件的第二端可預先繞所述腔室的軸向偏轉或轉動預設角度后，其第一端再與所述腔室密封連接；和/或，

所述彈性連接組件的第二端可預先沿所述腔室的徑向平移預設距離后，其第一端再與所述腔室密封連接。

3.根據權利要求2所述的介質引入結構，其特征在于，所述彈性連接組件包括波紋管、密封轉動件和固定套，所述固定套套設在所述引入管上，所述固定套的內孔與所述引入管的外周壁固定連接，所述固定套朝向所述波紋管的端面與所述波紋管的第二端固定連接，所述波紋管的第一端經由所述密封轉動件與所述腔室密封連接，所述波紋管的第二端經由所述固定套與所述引入管固定連接。

4.根據權利要求3所述的介質引入結構，其特征在于，所述密封轉動件包括活套法蘭以及可轉動地套設在所述活套法蘭內的安裝法蘭，所述波紋管的第一端與所述安裝法蘭固定連接，并且，所述安裝法蘭經由所述活套法蘭壓入所述腔室以與所述腔室密封連接。

5.根據權利要求3所述的介質引入結構，其特征在于，所述固定套呈板狀結構，所述板狀結構的內孔與所述引入管的外周壁焊接，所述板狀結構朝向所述波紋管的端面與所述波紋管焊接。

6.根據權利要求1至5中任意一項所述的介質引入結構，其特征在于，所述介質引入結構還包括引入接頭，所述引入接頭與所述介質引入端密封連接。

7.根據權利要求6所述的介質引入結構，其特征在于，所述引入接頭包括VCR接頭或卡套接頭。

8.根據權利要求1至5中任意一項所述的介質引入結構，其特征在于，所述介質引入結構還包括供給接頭，所述引入管還具有介質供給端，所述供給接頭與所述介質供給端密封連接。

9.根據權利要求8所述的介質引入結構，其特征在于，所述供給接頭包括第一快插接頭、插置在所述第一快插接頭內的第二快插接頭以及插置在所述第二快插接頭內的功能模塊接頭。

10.一種半導體處理設備，包括腔室以及介質引入結構，其特征在于，所述介質引入結構采用權利要求1至9中任意一項所述的介質引入結構。