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[實用新型]三氯硅烷合成裝置有效

專利信息
申請號: 201821998036.3 申請日: 2018-11-30
公開(公告)號: CN209242694U 公開(公告)日: 2019-08-13
發明(設計)人: 史雋濤;趙鐵;李曉康;張秋元;張建軍 申請(專利權)人: 沁陽國順硅源光電氣體有限公司
主分類號: C01B33/107 分類號: C01B33/107
代理公司: 鄭州大通專利商標代理有限公司 41111 代理人: 余炎鋒
地址: 454550 河*** 國省代碼: 河南;41
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 反應殼體 進氣殼體 內套管 三氯硅烷合成裝置 本實用新型 分離殼體 加料管 硅粉 充分混合 頂部設置 反應效率 強制循環 三氯硅烷 生產技術 沉降腔 出氣口 混合殼 進氣管 內端部 排放口 膨脹腔 體內部 無定向 循環泵 循環口 側壁 延伸
【權利要求書】:

1.一種三氯硅烷合成裝置,其特征在于,包括:

進氣殼體,所述進氣殼體的側壁上設置有進氣管,進氣殼體的底部設置有排放口;

混合殼體,其內部設置有內套管,所述內套管的中部較兩端細,在所述內套管的中部設置有第一循環口;

反應殼體,所述反應殼體上設置有加料管,所述加料管的內端部延伸至所述反應殼體的中部;

和分離殼體,所述分離殼體頂部設置有出氣口,所述分離殼體包括位于上部的呈圓柱形的沉降腔和位于下部的呈錐形的膨脹腔;

在所述膨脹腔的側壁上設置有第二循環口,所述第一循環口和第二循環口連通。

2.根據權利要求1所述的三氯硅烷合成裝置,其特征在于,所述第一循環口和所述第二循環口之間并排設置有第一分支管路和第二分支管路,在第一分支管路上設置有循環泵,在第一分支管路和第二分支管路上均設置有控制閥。

3.根據權利要求1所述的三氯硅烷合成裝置,其特征在于,所述內套管上設置有至少3個第一循環口,所述膨脹腔的側壁上設置有與第一循環口數量相同的第二循環口。

4.根據權利要求1所述的三氯硅烷合成裝置,其特征在于,所述加料管的內端部設置有錐形罩,在所述錐形罩的下端設置有打散網,在所述加料管的外端部設置有螺旋給料機。

5.根據權利要求1所述的三氯硅烷合成裝置,其特征在于,所述內套管呈單葉雙曲面結構。

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