[實(shí)用新型]研磨裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821997440.9
• 申請(qǐng)日: 2018-11-30
• 公開（公告）號(hào): CN209256648U
• 公開（公告）日: 2019-08-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 韓斌;辛君;林宗賢;吳龍江
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): B24B37/10
• 分類號(hào): B24B37/10;B24B37/30;B24B37/34;B08B5/04
• 代理公司: 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 31219
• 代理人: 佟婷婷

1.一種研磨裝置，其特征在于，包括：

研磨頭結(jié)構(gòu)；以及

抽氣裝置，設(shè)置于所述研磨頭結(jié)構(gòu)上方，以除去所述研磨頭結(jié)構(gòu)上的污染物。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置還包括旋轉(zhuǎn)軸及固定支架，其中，所述旋轉(zhuǎn)軸連接于所述固定支架與所述研磨頭結(jié)構(gòu)之間，所述抽氣裝置設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸的外圍且位于所述研磨頭結(jié)構(gòu)與所述固定支架之間。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置還包括托盤結(jié)構(gòu)，所述托盤結(jié)構(gòu)設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸的外圍且位于所述抽氣裝置與所述固定支架之間并與所述固定支架相接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的研磨裝置，其特征在于，所述抽氣裝置包括排氣腔室以及與所述排氣腔室相連通的排氣管路，其中，所述排氣腔室呈環(huán)形且套置于所述旋轉(zhuǎn)軸的外圍。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨裝置，其特征在于，所述排氣腔室的內(nèi)環(huán)邊緣與所述旋轉(zhuǎn)軸之間形成一間隙，所述間隙介于3mm-10mm之間；所述排氣腔室的外環(huán)邊緣在所述研磨頭結(jié)構(gòu)的上表面的正投影與所述研磨頭結(jié)構(gòu)的外緣之間的距離小于等于1mm；所述排氣腔室的底部與所述研磨頭結(jié)構(gòu)的上表面之間的距離介于8mm-15mm之間。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的研磨裝置，其特征在于，所述排氣腔室包括至少兩個(gè)排氣腔單元，所述抽氣裝置包括至少兩條所述排氣管路，其中，各所述排氣腔單元拼接形成所述排氣腔室，且各所述排氣腔單元分別對(duì)應(yīng)與一所述排氣管路相連通。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的研磨裝置，其特征在于，所述抽氣裝置還包括驅(qū)動(dòng)裝置，所述驅(qū)動(dòng)裝置與各所述排氣腔單元相連接，以帶動(dòng)各所述排氣腔單元的移動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的研磨裝置，其特征在于，所述驅(qū)動(dòng)裝置包括氣缸及馬達(dá)中的至少一種，當(dāng)所述驅(qū)動(dòng)裝置包括所述氣缸時(shí)，所述氣缸通過一連接結(jié)構(gòu)帶動(dòng)所述排氣腔單元移動(dòng)，且所述氣缸設(shè)置于所述固定支架上。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的研磨裝置，其特征在于，所述研磨裝置還包括控制裝置，所述抽氣裝置還包括與所述排氣腔室相連通抽氣泵裝置，其中，所述控制裝置與所述驅(qū)動(dòng)裝置相連接，以控制所述驅(qū)動(dòng)裝置工作，所述控制裝置與所述抽氣泵裝置相連接，以控制所述抽氣泵裝置工作。

10.根據(jù)權(quán)利要求6-9中任意一項(xiàng)所述的研磨裝置，其特征在于，所述抽氣裝置還包括至少兩個(gè)與所述排氣腔單元對(duì)應(yīng)的導(dǎo)軌裝置，其中，所述導(dǎo)軌裝置設(shè)置于所述固定支架上，所述排氣腔單元沿對(duì)應(yīng)的所述導(dǎo)軌裝置移動(dòng)。