[實用新型]一種晶圓切割機除水裝置及其晶圓切割機有效
| 申請號： | 201821987519.3 | 申請日： | 2018-11-29 |
| 公開（公告）號： | CN210190199U | 公開（公告）日： | 2020-03-27 |
| 發明（設計）人： | 劉劍;湯開榮 | 申請（專利權）人： | 成都先進功率半導體股份有限公司 |
| 主分類號： | B28D5/02 | 分類號： | B28D5/02;B28D7/00 |
| 代理公司： | 四川力久律師事務所 51221 | 代理人： | 劉童笛 |
| 地址： | 611731 四川*** | 國省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 切割機 裝置 及其 | ||
1.一種晶圓切割機除水裝置，其特征在于，包括連為一體的安裝部（1）和吹氣簾（2），所述安裝部（1）用于將所述吹氣簾（2）安裝到所述晶圓切割機內部（3），所述吹氣簾（2）為中空結構，所述吹氣簾（2）側壁設有若干氣孔（201），所述吹氣簾（2）通過連接管（4）與外接氣源連通。
2.根據權利要求1所述的晶圓切割機除水裝置，其特征在于，所述吹氣簾（2）為空心圓柱結構，該吹氣簾（2）一端封堵。
3.根據權利要求2所述的晶圓切割機除水裝置，其特征在于，所述安裝部（1）包括若干安裝單元（101），所述安裝單元（101）包括連為一體的安裝片（1011）和卡箍（1013），所述安裝片（1011）上設有若干安裝孔（1012），所述卡箍（1013）用于鎖緊所述吹氣簾（2）。
4.根據權利要求3所述的晶圓切割機除水裝置，其特征在于，所述吹氣簾（2）長度為800mm，外徑為10mm，壁厚為0.5mm，所述吹氣簾（2）連有4個寬為20mm、間距為200mm的安裝單元（101）。
5.根據權利要求4所述的晶圓切割機除水裝置，其特征在于，在所述吹氣簾（2）上布置有16個同一直線的、直徑為1mm、間距為50mm的氣孔（201）。
6.根據權利要求2所述的晶圓切割機除水裝置，其特征在于，所述氣孔（201）沿吹氣簾（2）外壁螺旋布置。
7.根據權利要求1-6任一所述的晶圓切割機除水裝置，其特征在于，所述吹氣簾（2）及安裝部（1）均為不銹鋼制造。
8.一種晶圓切割機，其特征在于，其內部安裝有如權利要求1-7任一所述的晶圓切割機除水裝置。
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