[實用新型]一種晶圓切割機除水裝置及其晶圓切割機

有效

• 申請號: 201821987519.3
• 申請日: 2018-11-29
• 公開（公告）號: CN210190199U
• 公開（公告）日: 2020-03-27
• 發明（設計）人: 劉劍;湯開榮
• 申請（專利權）人: 成都先進功率半導體股份有限公司
• 主分類號: B28D5/02
• 分類號: B28D5/02;B28D7/00
• 代理公司: 四川力久律師事務所 51221
• 代理人: 劉童笛

本實用新型涉及半導體加工領域，具體涉及一種晶圓切割機除水裝置，包括連為一體的安裝部和吹氣簾，所述安裝部用于將所述吹氣簾安裝到所述晶圓切割機內部，所述吹氣簾為中空結構，所述吹氣簾側壁設有若干氣孔，所述吹氣簾通過連接管與外接氣源連通。通過安裝部將裝置本體安裝到晶圓切割機內部，并對吹氣簾通氣，吹氣簾通過氣孔釋放氣體，加快晶圓切割機內部的空氣流動，利用空氣流動循環加快露水蒸發，增加了設備零部件的使用壽命，本裝置結構簡單，成本低且效果明顯，節約人力還高了生產效率。

技術領域

本實用新型涉及一種半導體加工領域，特別是一種晶圓切割機除水裝置及其晶圓切割機。

背景技術

晶圓切割，有時也叫做“劃片”。一個晶圓上做出來的獨立的IC有幾百個到幾千個甚至上萬個，切割的目的是將整個晶圓上每一個獨立的IC通過高速旋轉的金剛石刀片切割開來，為后面的工序做準備。

在切割機對晶圓進行切割時我們會用到一臺輔助設備叫純水機，因為切割中要用水溫為14攝氏度的冷凍水來沖去切割產生的廢渣和降低切割中產生的高溫，長期使用水使得空氣中水分增加，同時冷凍水使得設備的溫度通常偏低，且設備內部空氣流動性較低，從而導致設備內部易出現結露的情況。

設備內部結露對正常生產造成嚴重影響：

1、備件成本的增加：零部件生銹更換；

2、產品成本的增加：報警頻繁甚至停機影響產量；

3、人力成本的增加：需要大力花時間維修更換；

4、產品質量風險：生銹腐蝕和頻繁的更換配件降低了設備的精度，影響切割質量；

5、造成安全事故：元器件、傳感器等失效可能造成人身、設備的安全事故。

實用新型內容

本實用新型的發明目的在于：針對現有技術存在晶圓切割機內部結露的問題，提供一種晶圓切割機除水裝置，該裝置提高了晶圓切割機內部空氣流速，利用空氣流動循環加快露水的蒸發，并有效防止設備內部結露，此改進簡單有效，降低成本的同時還提高了生產效率。

為了實現上述目的，本實用新型采用的技術方案為：

一種晶圓切割機除水裝置，其特征在于，包括連為一體的安裝部和吹氣簾，所述安裝部用于將所述吹氣簾安裝到所述晶圓切割機內部，所述吹氣簾為中空結構，所述吹氣簾側壁設有若干氣孔，所述吹氣簾通過連接管與外接氣源連通。

該晶圓切割機除水裝置，通過安裝部將裝置本體安裝到晶圓切割機內部，并對吹氣簾通氣，吹氣簾通過氣孔釋放氣體，加快晶圓切割機內部的空氣流動，利用空氣流動循環加快露水蒸發，增加了設備零部件的使用壽命，節約了人力還一高了生產效率。

作為本實用新型的優選方案，所述吹氣簾為空心圓柱結構，該吹氣簾一端封堵。吹氣簾一端封堵，另一端通過連接管與外接氣源相連，使得氣源氣體可從氣孔快速噴出，對切割機內部各處進行干燥。

作為本實用新型的優選方案，所述安裝部包括若干安裝單元，所述安裝單元包括連為一體的安裝片和卡箍，所述安裝片上設有若干安裝孔，所述卡箍用于鎖緊所述吹氣簾。安裝片用于將除水裝置安裝到切割機內部，卡箍鎖緊吹氣簾，避免在通氣時，吹氣簾因晃動而掉落，防松卡箍時可以對吹氣簾的氣孔角度進行調節，適應不同角度的通氣需求，從而實現切割機內部不同方位的干燥。

作為本實用新型的優選方案，所述吹氣簾長度為800mm，外徑為10mm，壁厚為0.5mm，所述吹氣簾連有4個寬為20mm、間距為200mm的安裝單元。在吹氣簾上均勻連接安裝單元，使得吹氣簾安裝更加穩定、可靠。

作為本實用新型的優選方案，在所述吹氣簾上布置有16個同一直線的、直徑為1mm、間距為50mm的氣孔。