[實用新型]一種垂直腔面發射激光器有效
| 申請號： | 201821979422.8 | 申請日： | 2018-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN209150487U | 公開（公告）日： | 2019-07-23 |
| 發明（設計）人： | 王兵 | 申請（專利權）人： | 佛山市國星半導體技術有限公司 |
| 主分類號： | H01S5/183 | 分類號： | H01S5/183 |
| 代理公司： | 廣州三環專利商標代理有限公司 44202 | 代理人： | 胡楓 |
| 地址： | 528200 廣東省佛山市南海區獅*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 焊盤 絕緣層 垂直腔面發射激光器 本實用新型 第二電極 第三電極 第一電極 激光器 反射層 鍵合層 電極 導電連接 發光結構 熱量傳導 散熱效果 襯底 打線 引伸 焊接 | ||
1.一種垂直腔面發射激光器，其特征在于，包括：
第二反射層；
設置在第二反射層上的發光結構，所述發光結構包括中心結構、裸露區域和第一電極，所述中心結構包括依次設置的第一半導體層、有源層、第二半導體層、電流阻擋層、透明導電層和第二電極，所述裸露區域刻蝕至第一半導體層，所述第一電極設置在第一半導體層上并圍繞在中心結構的四周，所述第一電極與中心結構相互絕緣；
依次設置在發光結構上的第一反射層、第一鍵合層、第二鍵合層、第二襯底和第一絕緣層，且所述第一絕緣層延伸至第一反射層上；
設置在第一絕緣層上的第三電極和第四電極，所述第三電極貫穿第一絕緣層并延伸至第一電極上，所述第四電極貫穿第一絕緣層并延伸至第二電極上，第三電極和第四電極絕緣；
設置在第三電極、第四電極和第二襯底上的第二絕緣層；
設置在第二絕緣層上的第一焊盤和第二焊盤，第一焊盤延與第三電極連接，第二焊盤與第四電極連接，第一焊盤和第二焊盤絕緣。
2.如權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第二反射層的反射率低于第一反射層的反射率。
3.如權利要求2所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第二反射層的反射率比第一反射層的反射率低1-5％。
4.如權利要求3所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第一反射層和第二反射層由反射絕緣材料制成。
5.如權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第一電極、第二電極、第三電極和第四電極均由導電金屬制成。
6.如權利要求1所述的垂直腔面發射激光器，其特征在于，所述第一焊盤和第二焊盤均由Ni、Au、Sn或AuSn制成。
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