[實用新型]天車的軌道裝置以及物料搬送裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821973302.7
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN209536453U
• 公開（公告）日: 2019-10-25
• 發(fā)明（設計）人: 張健
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B65G49/07
• 分類號: B65G49/07
• 代理公司: 北京律智知識產(chǎn)權代理有限公司 11438
• 代理人: 袁禮君;闞梓瑄

本公開提供了一種天車的軌道裝置以及物料搬送裝置，涉及半導體技術領域。該天車的頂部設有導向輪，天車兩側的底部設有走行輪，而該軌道裝置包括導向軌道和走行軌道。其中，導向軌道包括導向主道和導向岔道；導向主道包括平行設置的第一導向支道和第二導向支道；導向岔道連接于第一導向支道和第二導向支道之間，用于引導導向輪由第一導向支道和第二導向支道中的一個移動至另一個；走行軌道設于導向軌道遠離安裝面的一側，包括走行岔道以及并排設置的第一走行主道和第二走行主道；走行岔道用于引導走行輪由第一走行主道和第二走行主道中的一個移動至另一個。該軌道裝置可使天車沿一個方向運行時能在兩個走行主道間切換，并提高了天車的搬送效率。

技術領域

本公開涉及半導體技術領域，具體而言，涉及一種天車的軌道裝置以及物料搬送裝置。

背景技術

隨著半導體技術的發(fā)展，自動物料搬送系統(tǒng)連接各個制造模塊、輸送硅片、并作為紐帶的重要性日益凸顯。自動物料搬送系統(tǒng)中的軌道包括并排設置的兩條軌道，并固定懸掛于天花板，用來引導搬送硅片的天車行走。天車在軌道上行走時，經(jīng)常需要切換路線，即從一條軌道切換到另一條軌道。

現(xiàn)有技術中，天車沿一條軌道在一個運行方向上行走，天車能切換到另一條軌道，但如果運行方向相反，則天車無法切。如果這條軌道上出現(xiàn)堵車，則天車只能堵積，無法運行，進而降低了搬送效率。

需要說明的是，在上述背景技術部分公開的信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現(xiàn)有技術的信息。

發(fā)明內(nèi)容

本公開的目的在于提供一種天車的軌道裝置以及物料搬送裝置，使天車沿一個方向運行時能在兩個軌道間切換，并提高了搬送效率。

為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本公開采用如下技術方案：

根據(jù)本公開的一個方面，提供一種天車的軌道裝置。該天車的頂部設有導向輪，所述天車兩側的底部設有走行輪，而該軌道裝置包括導向軌道和走行軌道。其中：導向軌道能設于一安裝面，包括導向主道和導向岔道；所述導向主道包括平行設置的第一導向支道和第二導向支道；所述導向岔道連接于所述第一導向支道和所述第二導向支道之間，用于引導所述導向輪由所述第一導向支道和所述第二導向支道中的一個移動至另一個；走行軌道設于所述導向軌道遠離所述安裝面的一側，所述走行軌道包括走行岔道以及并排設置的第一走行主道和第二走行主道；所述走行岔道用于引導所述走行輪由所述第一走行主道和所述第二走行主道中的一個移動至另一個。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第一走行主道包括能與所述天車兩側的走行輪配合的第一支道和第二支道；所述第二走行主道包括能與所述天車兩側的走行輪配合的第三支道和第四支道；

所述第一支道和所述第三支道平行于所述導向主道；所述第二支道和所述第四支道位于所述第一支道和所述第三支道之間；所述第二支道具有第一斷口，所述第一斷口的第一端和第二端向所述第三支道彎曲，所述第四支道具有第二斷口，所述第二斷口的第一端和第二端向所述第一支道彎曲；

所述走行岔道設于所述第一支道和所述第三支道之間，且包括第一岔道和第二岔道；所述第一岔道能在第一位置和第二位置間轉動，且在轉動至所述第一位置時，所述第一岔道與所述第一斷口的第一端對接，并向所述第三支道延伸，在轉動至所述第二位置時，與所述第二斷口的第一端對接并向所述第一支道延伸；所述第二岔道能在第三位置和第四位置間轉動，且在轉動至所述第三位置時，與所述第二斷口的第二端對接并向所述第一支道延伸，在轉動至所述第四位置時，與所述第一斷口的第二端對接并向所述第三支道延伸。

在本公開的一種示例性實施例中，所述第一斷口的第一端和第二端均沿弧形軌跡向所述第三支道彎曲；所述第二斷口的第一端和第二端均沿弧形軌跡向所述第一支道彎曲；所述第一岔道和所述第二岔道均沿直線軌跡延伸。

在本公開的一種示例性實施例中，所述導向岔道包括：