[實用新型]一種半導體加工系統

有效

• 申請號: 201821967248.5
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號: CN208889628U
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 李靜遠;李楠;邱俊杰
• 申請（專利權）人: 佛山寶芯智能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L33/48
• 代理公司: 廣州市科豐知識產權代理事務所(普通合伙) 44467
• 代理人: 龔元元

本實用新型屬于半導體封裝設備領域，其公開了一種半導體加工系統，包括加工設備和加熱設備，所述的加工設備和加熱設備之間設有緩存機；所述的緩存機包括基座、設置在基座上的輸入皮帶機構和輸出皮帶機構、設置在輸出皮帶機構兩側的緩存機構，所述的緩存機構包括一對相對設置的設有緩存槽的緩存板、用于驅動緩存板上下移動的驅動機構；所述的加工設備設置在輸入皮帶機構的一端，所述的加熱設備設置在輸出皮帶機構的一端。本實用新型的目的在于提供一種結構簡單、可對不合格品自動緩存的半導體加工系統，用以提高加工質量和加工效率。

技術領域

本實用新型涉及半導體加工領域，具體為一種半導體加工系統。

背景技術

現有半導體倒裝系統基本上都是離線式的半自動封裝系統，檢測后手動放置，這種系統效率低，質量不能得到保證，現發明一種全自動流水線式的半導體倒裝封裝系統，設有自動NG緩存設備，OK直通流入下道工序的功能。這種自動流水線式的系統具有減少人工，效率提高的優點。

固晶又稱為Die Bond或裝片。固晶即通過膠體(對于LED來說一般是導電膠或絕緣膠)把晶片粘結在支架的指定區域，形成熱通路或電通路，為后序的打線連接提供條件的工序。

固晶和錫膏印刷的過程必須用到的設備為加工設備和加熱設備。

現有的固晶過程以及錫膏印刷的過程中中存在的問題是，在LED半導體上加入固晶膠時，很多時候會存在不合格品，這個時候需要人工將其檢出。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種結構簡單、可對不合格品自動緩存的半導體加工系統，用以提高加工質量和加工效率。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體加工系統，包括加工設備和加熱設備，所述的加工設備為固晶機或晶片錫膏印刷機；所述的加工設備和加熱設備之間設有緩存機；所述的緩存機包括基座、設置在基座上的輸入皮帶機構和輸出皮帶機構、設置在輸出皮帶機構兩側的緩存機構，所述的緩存機構包括一對相對設置的設有緩存槽的緩存板、用于驅動緩存板上下移動的驅動機構；所述的加工設備設置在輸入皮帶機構的一端，所述的加熱設備設置在輸出皮帶機構的一端。

在上述的半導體加工系統中，所述的加工設備和輸入皮帶機構之間設有AOI檢測設備。

在上述的半導體加工系統中，所述的加工設備和AOI檢測設備之間、所述的AOI檢測設備和緩存機之間均設有輸送機構。

在上述的半導體加工系統中，所述的輸送機構為皮帶輸送機構。

在上述的半導體加工系統中，所述的輸入皮帶機構由一對相對設置的第一皮帶組件組成，所述的第一皮帶組件包括第一輸送皮帶、設置在第一輸送皮帶內的第一主動輪、第一從動輪和第一張緊輪，所述的第一從動輪和第一張緊輪均為2個，所述的第一主動輪為一個；所述的第一主動輪由一第一驅動電機驅動。

在上述的半導體加工系統中，所述的輸出皮帶機構由一對相對設置的第二皮帶組件組成，所述的第二皮帶組件包括第二輸送皮帶、設置在第二輸送皮帶內的第二主動輪、第二從動輪和第二張緊輪，所述的第二從動輪為3個，第二張緊輪為2個，所述的第二主動輪為1個，所述的第二主動輪由一第二驅動電機驅動。

在上述的半導體加工系統中，所述的輸入皮帶機構的兩端均設有用于感應是否存在LED半導體的第一感應器。

在上述的半導體加工系統中，所述的輸出皮帶機構的兩端均設有用于感應是否存在LED半導體的第二感應器。

在上述的半導體加工系統中，所述的驅動機構包括第三驅動電機、設置在緩存板外側的升降絲桿，所述的升降絲桿與第三驅動電機連接。