[實用新型]一種半導體加工系統

有效

• 申請號: 201821967248.5
• 申請日: 2018-11-28
• 公開（公告）號: CN208889628U
• 公開（公告）日: 2019-05-21
• 發明（設計）人: 李靜遠;李楠;邱俊杰
• 申請（專利權）人: 佛山寶芯智能科技有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L33/48
• 代理公司: 廣州市科豐知識產權代理事務所(普通合伙) 44467
• 代理人: 龔元元

1.一種半導體加工系統，包括加工設備和加熱設備，所述的加工設備為固晶機或晶片錫膏印刷機；其特征在于，所述的加工設備和加熱設備之間設有緩存機；所述的緩存機包括基座、設置在基座上的輸入皮帶機構和輸出皮帶機構、設置在輸出皮帶機構兩側的緩存機構，所述的緩存機構包括一對相對設置的設有緩存槽的緩存板、用于驅動緩存板上下移動的驅動機構；所述的加工設備設置在輸入皮帶機構的一端，所述的加熱設備設置在輸出皮帶機構的一端。

2.根據權利要求1所述的半導體加工系統，其特征在于，所述的加工設備和輸入皮帶機構之間設有AOI檢測設備。

3.根據權利要求2所述的半導體加工系統，其特征在于，所述的加工設備和AOI檢測設備之間、所述的AOI檢測設備和緩存機之間均設有輸送機構。

4.根據權利要求3所述的半導體加工系統，其特征在于，所述的輸送機構為皮帶輸送機構。

5.根據權利要求1-4任一所述的半導體加工系統，其特征在于，所述的輸入皮帶機構由一對相對設置的第一皮帶組件組成，所述的第一皮帶組件包括第一輸送皮帶、設置在第一輸送皮帶內的第一主動輪、第一從動輪和第一張緊輪，所述的第一從動輪和第一張緊輪均為2個，所述的第一主動輪為一個；所述的第一主動輪由一第一驅動電機驅動。

6.根據權利要求5所述的半導體加工系統，其特征在于，所述的輸出皮帶機構由一對相對設置的第二皮帶組件組成，所述的第二皮帶組件包括第二輸送皮帶、設置在第二輸送皮帶內的第二主動輪、第二從動輪和第二張緊輪，所述的第二從動輪為3個，第二張緊輪為2個，所述的第二主動輪為1個，所述的第二主動輪由一第二驅動電機驅動。

7.根據權利要求1-4任一所述的半導體加工系統，其特征在于，所述的輸入皮帶機構的兩端均設有用于感應是否存在LED半導體的第一感應器。

8.根據權利要求7所述的半導體加工系統，其特征在于，所述的輸出皮帶機構的兩端均設有用于感應是否存在LED半導體的第二感應器。

9.根據權利要求1-4任一所述的半導體加工系統，其特征在于，所述的驅動機構包括第三驅動電機、設置在緩存板外側的升降絲桿，所述的升降絲桿與第三驅動電機連接。

10.根據權利要求1-4任一所述的半導體加工系統，其特征在于，所述的輸入皮帶機構、輸出皮帶機構、緩存機構均為兩個且相對布置，其中：兩個第一皮帶組件之間設有用于調節兩個第一皮帶組件之間間距的第一水平絲桿；兩個第二皮帶組件之間設有用于調節兩個第二皮帶組件之間間距的第二水平絲桿；兩個緩存板之間設有用于調節兩個緩存板之間間距的第三水平絲桿。