[實用新型]一種硅錠或硅棒的自動檢測分揀系統

有效

• 申請號: 201821966983.4
• 申請日: 2018-11-27
• 公開（公告）號: CN209379456U
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 楊國功
• 申請（專利權）人: 蘇州越恒自動化科技有限公司
• 主分類號: B07C5/02
• 分類號: B07C5/02;B07C5/04;B07C5/16;B07C5/34
• 代理公司: 北京科家知識產權代理事務所(普通合伙) 11427
• 代理人: 陳娟

本實用新型公開了一種硅錠或硅棒的自動檢測分揀系統，依次包括上料機構、組合檢測工段、動態稱重工段、打標工段、分揀工段和貫穿各工段的流水運輸部；所述上料機構用于上料；所述組合檢測工段包括主支架、抬升機構、抓取定位機構、外觀檢測機構、紅外探傷機構；所述外觀檢測機構具有外觀檢測攝像頭，對硅錠或硅棒進行外觀檢測操作；所述紅外探傷機構，用于對硅錠或硅棒進行紅外探傷操作；所述動態稱重工段，用于對硅錠或硅棒進行稱重；所述打標工段，對硅錠或硅棒進行打碼貼標；所述分揀工段具有分揀機構，用于產品分類揀選。本實用新型實現外觀缺陷尺寸檢測、內部缺陷紅外探傷、重量測試和產品的等級分類，產能效率相當于傳統模式的3～5倍。

技術領域

本實用新型屬于機械自動化設備領域，尤其涉及一種硅錠或硅棒的自動檢測分揀系統。

背景技術

硅錠、硅棒為半導體原料加工領域的重要中間產品，其在切片之前，需要做表面的初步檢測，如外觀檢測、紅外探傷、稱重等檢測。外觀檢測主要對外觀尺寸和表面缺陷進行檢測，紅外探傷主要對內部雜質和缺陷、少子壽命進行檢測。在對硅錠或硅棒的檢測過程中，傳統方式是依賴進口設備組合，以人工作業方式實現。此種方式，硅錠本身很重，人工搬運過程中難免會發生磕碰，磕碰、劃痕，增加了產品風險；勞工工作強度大、勞動密集，工作效率低，且進口設備的配件售后周期長，服務昂貴，核心的軟件沒有自主知識產權，受制于人。

針對以上問題，必須開發一種全線自動作業的檢測設備，以實現國產化。因此迫切需要開發一種全部配件國產化、軟件也具有自主產權的硅錠或硅棒自動檢測設備。并且，對于硅錠或硅棒的外觀尺寸檢測、紅外探傷、重量測試組合的檢測設備，目前國內尚屬于欠缺，開發此類組合檢測設備可突破傳統模式，大大提高工作效率。

實用新型內容

實用新型目的：為了提高硅錠或硅棒的自動化檢測能力，開發一種集成外觀、紅外探傷、稱重的一體自動化設備，本實用新型提出一種硅錠或硅棒的自動檢測分揀系統，以解決現有技術中存在的問題。

實用新型內容：一種硅錠或硅棒的自動檢測分揀系統，用于硅錠或硅棒的紅外檢測、外觀檢測、稱重、貼標及分級的自動化操作，具有外部的自動控制系統，依次包括上料機構、組合檢測工段、動態稱重工段、打標工段、分揀工段和貫穿各工段的流水運輸部，流水運輸部的延伸方向為X向；所述上料機構包括吊機和上料頭，所述吊機包括支柱、起吊驅動部、起吊臂，所述起吊驅動部帶動起吊臂旋轉、起吊和降落操作，所述上料頭安裝于起吊臂末端并設置有起吊操作面板；

所述組合檢測工段包括主支架、抬升機構、抓取定位機構、外觀檢測機構、紅外探傷機構，所述流水運輸部包括初運輸段、主運輸段、第三運輸段、第四運輸段，所述初運輸段位于起吊臂一側，主支架安裝于主運輸段外圍，所述流水運輸部包括運輸機架，運輸機架上安裝有運輸部和驅動運輸部運動的運輸驅動部，所述主運輸段的運輸部分為分布在兩側的側運輸滾輪、中間隔開有抬升槽，所述抬升機構設置于抬升槽內；所述抬升機構包括安裝于主運輸段的運輸機架底部的抬升底架、安裝于抬升底架上的抬升氣缸和抬升氣缸上的抬升主架，所述抬升機構用于對硅錠或硅棒進行抬升操作；所述抓取定位機構位于主支架上部，用于對硅錠或硅棒進行抓取操作；所述外觀檢測機構包括安裝于主支架上部、抓取定位機構前端的外觀支架，外觀支架上設置有外觀檢測攝像頭，用于對硅錠或硅棒進行外觀尺寸、缺陷檢測操作；所述紅外探傷機構設置于主支架前端側面，用于對硅錠或硅棒進行內部缺陷紅外檢測操作；

所述流水運輸部在動態稱重工段為第三運輸段，所述動態稱重工段包括動態稱重模塊，用于對硅錠或硅棒進行稱重操作；

所述流水運輸部在打標工段和分揀工段為第四運輸段，所述打標工段包括打標支架、儲存箱、YZ移動機構、打標頭，所述儲存箱、YZ移動機構固定于打標支架上，所述打標頭配合于YZ移動機構上、位于儲存箱一側；

所述分揀工段包括若干組沿著第四運輸段分布的分揀機構，每個分揀機構包括設置于第四運輸段兩側的一個推料機構和一個分揀運輸部，所述分揀運輸部包括分揀機架，分揀機架上安裝有運輸部和驅動運輸部運動的運輸驅動部。