[實用新型]硅片表面除塵裝置和硅片表面除塵系統

有效

• 申請號: 201821954512.1
• 申請日: 2018-11-26
• 公開（公告）號: CN209829761U
• 公開（公告）日: 2019-12-24
• 發明（設計）人: 錢海龍;費正洪
• 申請（專利權）人: 鹽城阿特斯協鑫陽光電力科技有限公司;阿特斯陽光電力集團有限公司
• 主分類號: B08B6/00
• 分類號: B08B6/00
• 代理公司: 32278 蘇州攜智匯佳專利代理事務所(普通合伙)
• 代理人: 錢偉

1.一種硅片表面除塵裝置，其特征在于：包括除塵組件和集塵組件，所述除塵組件包括靜電吸附輥和驅動所述靜電吸附輥轉動的電機；所述靜電吸附輥包括靜電環，用于對硅片表面的灰塵進行吸附；所述集塵組件包括集塵管，所述集塵管的一端與所述靜電吸附輥中的所述靜電環接觸，用以對吸附在所述靜電吸附輥表面的灰塵進行收集。

2.根據權利要求1所述的硅片表面除塵裝置，其特征在于：所述靜電吸附輥還包括主體，所述靜電環貼覆在所述主體的外表面，所述電機用于驅動所述主體轉動，以帶動所述靜電環轉動。

3.根據權利要求2所述的硅片表面除塵裝置，其特征在于：所述靜電環上開設有缺口，以使得所述靜電環呈C型設置。

4.根據權利要求3所述的硅片表面除塵裝置，其特征在于：定義所述缺口在主體周向上的開口距離為所述缺口的缺口寬度，所述缺口寬度為所述主體的周長的1/8。

5.根據權利要求1所述的硅片表面除塵裝置，其特征在于：所述除塵組件還包括基板，所述集塵管貫穿所述基板并沿所述靜電吸附輥的中軸線延伸設置，所述集塵管與所述靜電吸附輥貼近的一端設有集塵口，所述集塵口抵在所述靜電吸附輥的外表面，以對靜電吸附輥外表面的灰塵進行集中和收集。

6.根據權利要求5所述的硅片表面除塵裝置，其特征在于：所述集塵管與所述靜電吸附輥貼近的一端設置成尖端，以在所述靜電吸附輥轉動時，所述尖端將所述靜電吸附輥外表面的灰塵集中至集塵口處。

7.根據權利要求2所述的硅片表面除塵裝置，其特征在于：所述電機收容在所述主體的中心，以控制所述主體相對于所述主體的中軸線順時針/逆時針轉動。

8.根據權利要求7所述的硅片表面除塵裝置，其特征在于：所述電機與所述靜電環通過導線連接。

9.根據權利要求1所述的硅片表面除塵裝置，其特征在于：所述集塵組件還包括與集塵管相連的集塵機構，所述集塵機構為真空負壓集塵機構。

10.一種硅片表面除塵系統，包括輸送機構和硅片表面除塵裝置，其特征在于：所述硅片表面除塵裝置設置在所述輸送機構的上方，所述輸送機構為帶式輸送機；所述硅片表面除塵裝置為權利要求1～9中任一項所述的硅片表面除塵裝置。