[實(shí)用新型]一種探針

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821938308.0
• 申請(qǐng)日: 2018-11-22
• 公開（公告）號(hào): CN209296014U
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪旭東;林宗德;黃仁德
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 德淮半導(dǎo)體有限公司
• 主分類號(hào): G01D11/00
• 分類號(hào): G01D11/00
• 代理公司: 上海思捷知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295
• 代理人: 王宏婧

本實(shí)用新型提供了一種探針，包括探頭和保護(hù)層，所述保護(hù)層至少覆蓋于所述探頭的表面，所述保護(hù)層包括多個(gè)具有疏水性的乳突結(jié)構(gòu)。所述乳突結(jié)構(gòu)具有超疏水性，同時(shí)具有減粘、降阻的特性。使得污染物不會(huì)粘附在探頭的表面，同時(shí)因?yàn)樵摻Y(jié)構(gòu)使得探針表面和污染物之間的接觸面積最小，減少了探針清潔次數(shù)，延長(zhǎng)了探針的使用壽命。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，涉及一種探針。

背景技術(shù)

在自然界中，荷葉表面具有獨(dú)特的自清潔功能，這是由其表面的微觀結(jié)構(gòu)和含低表面能的化學(xué)物質(zhì)所決定的。通過(guò)荷葉表面的掃描電鏡圖可以看到，其表面由很多5pm-9μm的乳突所組成，而每一個(gè)乳突上又存在納米級(jí)的二級(jí)結(jié)構(gòu)。荷葉表面的超疏水微米-納米二級(jí)結(jié)構(gòu)(簡(jiǎn)稱微/納結(jié)構(gòu))包括：荷葉表面細(xì)胞形態(tài)具有微/納米雙重尺度的乳突結(jié)構(gòu)，且在其表面微/納結(jié)構(gòu)中包含有疏水蠟質(zhì)體。隨著荷葉表面超疏水自清潔的微/納結(jié)構(gòu)特征和機(jī)理被人們所認(rèn)知，無(wú)論在理論基礎(chǔ)、技術(shù)構(gòu)建還是實(shí)際應(yīng)用等方面，微/納結(jié)構(gòu)都取得了長(zhǎng)足的進(jìn)步。

探針的主要材質(zhì)為鎢或鎢化錸，普通的探針的表面的微觀結(jié)構(gòu)是光滑的且親水的，容易粘附金屑和灰塵等污染物，所以需要經(jīng)常清洗。然而頻繁的清洗探針必然導(dǎo)致探針的磨損增加，使其使用壽命降低。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的一種探針的結(jié)構(gòu)示意圖，請(qǐng)參考圖1，現(xiàn)有技術(shù)中的探針包括探針主體1和探頭2，探頭2的表面的微觀結(jié)構(gòu)光滑、親水且容易沾污，探針在使用過(guò)程中，探頭2上粘附的污染微粒3一般為親水性的，而普通光滑表面的探頭2也是親水性的，所以污染微粒3很容易粘附在探頭2的表面。導(dǎo)致探針需要定期清洗，降低了探針的使用壽命，同時(shí)還增加了維護(hù)成本。

因此設(shè)計(jì)一種可減少污染物粘附的探針，以減少探針清洗次數(shù)來(lái)延長(zhǎng)探針的使用壽命顯得尤為重要。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的在于提供一種探針，以解決現(xiàn)有技術(shù)中的探針易沾污的問(wèn)題。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種探針，包括探頭和保護(hù)層，所述保護(hù)層至少覆蓋于所述探頭的表面，所述保護(hù)層包括多個(gè)具有疏水性的乳突結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述乳突結(jié)構(gòu)為具有沿遠(yuǎn)離所述探頭的表面的半球狀凸起結(jié)構(gòu)、半橢球狀凸起結(jié)構(gòu)或橢圓錐形結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述保護(hù)層的最大厚度為0.5nm-50nm。

優(yōu)選地，所述保護(hù)層的材質(zhì)包括鎢或錸鎢合金。

優(yōu)選地，所述保護(hù)層是通過(guò)激光切割工藝于所述探頭的表面形成。

優(yōu)選地，所述保護(hù)層是通過(guò)脈沖激光沉積工藝于所述探頭的表面形成。

優(yōu)選地，所述保護(hù)層與所述探頭可拆卸連接。

優(yōu)選地，所述保護(hù)層具有一與所述探頭相匹配的內(nèi)腔，所述保護(hù)層卡設(shè)于所述探頭的表面。

優(yōu)選地，還包括探針主體，所述探頭連接于所述探針主體的末端，所述保護(hù)層覆蓋于所述探針主體和所述探頭的表面。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型提供了一種探針，包括探頭和保護(hù)層，所述保護(hù)層至少覆蓋于所述探頭的表面，所述保護(hù)層包括多個(gè)具有疏水性的乳突結(jié)構(gòu)。所述乳突結(jié)構(gòu)具有超疏水性，同時(shí)具有減粘、降阻的特性。使得污染物不會(huì)粘附在探頭的表面，同時(shí)因?yàn)樵摻Y(jié)構(gòu)使得探針表面和污染物之間的接觸面積最小，減少了探針清潔次數(shù)，延長(zhǎng)了探針的使用壽命。

進(jìn)一步，所述乳突結(jié)構(gòu)為具有沿遠(yuǎn)離所述探頭的表面的半球狀凸起結(jié)構(gòu)、半橢球狀凸起結(jié)構(gòu)或橢圓錐形結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步，所述保護(hù)層的最大厚度為0.5nm-50nm。通過(guò)限定所述保護(hù)層的最大厚度間接的限定了所述乳突結(jié)構(gòu)的尺寸大小，以使所述探頭獲得較佳的疏水性。

進(jìn)一步，所述保護(hù)層的材質(zhì)包括鎢或錸鎢合金。所述保護(hù)層的材質(zhì)選用與所述探頭的材質(zhì)相同可以降低制造成本。