[實用新型]一種探針有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201821938308.0 | 申請日： | 2018-11-22 |
| 公開（公告）號： | CN209296014U | 公開（公告）日： | 2019-08-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 汪旭東;林宗德;黃仁德 | 申請（專利權(quán)）人： | 德淮半導(dǎo)體有限公司 |
| 主分類號： | G01D11/00 | 分類號： | G01D11/00 |
| 代理公司： | 上海思捷知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江蘇*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 探針 保護層 探頭 乳突結(jié)構(gòu) 污染物 本實用新型 超疏水性 使用壽命 探針表面 疏水性 減粘 降阻 粘附 清潔 覆蓋 | ||
1.一種探針，其特征在于，包括探頭和保護層，所述保護層至少覆蓋于所述探頭的表面，所述保護層包括多個具有疏水性的乳突結(jié)構(gòu)，所述乳突結(jié)構(gòu)為具有沿遠離所述探頭的表面的半球狀凸起結(jié)構(gòu)、半橢球狀凸起結(jié)構(gòu)、橢圓錐形結(jié)構(gòu)或橢圓錐臺結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于，所述保護層的最大厚度為0.5nm-50nm。
3.如權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于，所述保護層的材質(zhì)包括鎢或錸鎢合金。
4.如權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于，所述保護層是通過激光切割工藝于所述探頭的表面形成。
5.如權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于，所述保護層是通過脈沖激光沉積工藝于所述探頭的表面形成。
6.如權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于，所述保護層與所述探頭可拆卸連接。
7.如權(quán)利要求6所述的探針，其特征在于，所述保護層具有一與所述探頭相匹配的內(nèi)腔，所述保護層卡設(shè)于所述探頭的表面。
8.如權(quán)利要求1所述的探針，其特征在于，還包括探針主體，所述探頭連接于所述探針主體的末端，所述保護層覆蓋于所述探針主體和所述探頭的表面。
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