[實用新型]一種磁控濺射設備

有效

• 申請號: 201821922516.1
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN209412303U
• 公開（公告）日: 2019-09-20
• 發明（設計）人: 周興寶
• 申請（專利權）人: 東泰高科裝備科技有限公司
• 主分類號: C23C14/35
• 分類號: C23C14/35;C23C14/54;C23C14/56
• 代理公司: 北京維澳專利代理有限公司 11252
• 代理人: 曾晨;周放

1.一種磁控濺射設備，其特征在于，包括柔性連接機構、第一工藝腔、第二工藝腔和控制機構；其中，

所述柔性連接機構包括柔性連接管，所述柔性連接管的兩端分別與所述第一工藝腔的腔壁和所述第二工藝腔的腔壁相連接；

所述控制機構被設置為用于控制所述柔性連接管伸縮，以改變所述第一工藝腔和所述第二工藝腔之間的距離。

2.根據權利要求1所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述柔性連接管為波紋管。

3.根據權利要求1所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述柔性連接機構還包括分別設置在所述柔性連接管的兩端的第一柔性連接管法蘭和第二柔性連接管法蘭；

所述第一工藝腔上設有第一連接法蘭，所述第二工藝腔上設有第二連接法蘭；

所述第一柔性連接管法蘭和所述第二柔性連接管法蘭分別與所述第一連接法蘭和所述第二連接法蘭相連接。

4.根據權利要求3所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述控制機構包括驅動桿和驅動單元；

所述第一柔性連接管法蘭和/或所述第一連接法蘭上設有驅動桿孔，所述驅動桿的一端與所述驅動桿孔相配合，所述驅動桿的另一端與所述第二柔性連接管法蘭和/或所述第二連接法蘭相連接；

所述驅動單元被設置為用于驅動所述驅動桿沿著所述驅動桿孔移動，以改變所述第一柔性連接管法蘭和所述第二柔性連接管法蘭之間的距離。

5.根據權利要求4所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述控制機構還包括用于安裝所述驅動單元的驅動單元安裝支架，所述驅動單元安裝支架固定在所述第二柔性連接管法蘭上。

6.根據權利要求5所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述驅動單元安裝支架具有板狀結構，所述驅動單元的外殼與所述驅動單元安裝支架固定連接。

7.根據權利要求4所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述驅動桿沿著所述驅動桿孔的移動行程小于或等于所述第一工藝腔和/或所述第二工藝腔的高度。

8.根據權利要求4所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述控制機構包括兩套，且兩套所述控制機構對稱設置在所述柔性連接管的徑向方向的兩側。

9.根據權利要求3所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述第一柔性連接管法蘭和所述第一連接法蘭之間還設有第一密封圈；

所述第二柔性連接管法蘭和所述第二連接法蘭之間還設有第二密封圈。

10.根據權利要求1至9任一項中所述的磁控濺射設備，其特征在于，所述磁控濺射設備還包括距離傳感器和控制器；

所述距離傳感器被設置為用于檢測靶材和基片之間的距離，所述控制器被設置為用于采集所述距離傳感器檢測到的距離。