[實用新型]一種光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構

有效

• 申請號: 201821921716.5
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN209356843U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 胡文斌;孫紅艷;顏維成;李司元
• 申請（專利權）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;B08B3/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構，包括U型支架(3)、空氣噴嘴(5)、節流閥(8)、便拆部(9)、溶劑運輸管(12)、清潔干燥空氣制造器(14)、電動閥(17)和風機盒(20)，其特征在于，所述U型支架豎直部分右側固定安裝有兩個運輸泵(2)，運輸泵(2)沿前后方向設置，U型支架(3)上方部分貫穿開設有第一通孔，第一通孔內固定安裝有溶劑運輸管(12)一端，溶劑運輸管(12)的另一端固定安裝在一個運輸泵(2)的輸出端，U型支架(3)的上方部分底部設置有便拆部(9)，便拆部(9)包括溶劑噴嘴安裝槽(23)，U型支架(3)的上方部分底部開設有溶劑噴嘴安裝槽(23)，溶劑噴嘴安裝槽(23)頂部和溶劑運輸管(12)的輸出端連通，溶劑噴嘴安裝槽內螺紋安裝有溶劑噴嘴安裝座(22)，溶劑噴嘴安裝座(22)內貫穿開設有通孔，溶劑噴嘴安裝座(22)底部固定安裝有溶劑噴嘴(11)，溶劑噴嘴(11)和溶劑噴嘴安裝座(22)內部通孔連通，U型支架(3)的上方部分頂部開設有安裝槽(15)，安裝槽(15)內設置有清潔干燥空氣制造器(14)，清潔干燥空氣制造器(14)包括風機盒(20)，所述風機盒固定安裝在安裝槽(15)內側底部，風機盒(20)內側頂部固定安裝有風機(19)，風機盒(20)的出風口處設置有出風管(18)，風機(19)的出風處正對出風管(18)，U型支架(3)上方部分貫穿開設有第二通孔，第二通孔和安裝槽(15)內部連通，出風管(18)的固定安裝在第二通孔內，位于U型支架上方部分的底部開設有空氣噴嘴安裝槽，第二通孔和空氣噴嘴安裝槽內部連通，空氣噴嘴安裝槽內螺紋安裝有噴管螺紋底座(7)，噴管螺紋底座(7)內縱向貫穿開設有孔洞，噴管螺紋底座(7)底部固定安裝有空氣噴管(6)的一端，空氣噴管(6)的另一端螺紋安裝有空氣噴嘴(5)，空氣噴嘴內貫穿開設有空氣噴孔(16)，空氣噴孔(16)的底部設有電動閥(17)，所述U型支架(3)的下方部分所安裝結構以及結構的連接關系和U型支架(3)上方部分完全相同，U型支架(3)內側中央設置有溶劑噴嘴(11)。

2.根據權利要求1所述的光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構，其特征在于，所述溶劑噴嘴安裝座(22)頂部和溶劑噴嘴安裝槽(23)頂部連接處設置有防漏墊片(24)。

3.根據權利要求1所述的光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構，其特征在于，所述風機盒(20)左右兩側貫穿開設有孔洞，孔洞內固定安裝有空氣干燥清潔網(21)。

4.根據權利要求1所述的光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構，其特征在于，所述U 型支架(3)豎直部分左側轉動安裝有攝像頭(4)，U型支架(3)豎直部分右側固定安裝有顯示器(1)。

5.根據權利要求1所述的光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構，其特征在于，所述溶劑運輸管(12)底部固定安裝有支架(13)的一端，支架(13)的另一端固定安裝在U型支架(3)上。