[實用新型]一種光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構

有效

• 申請號: 201821921716.5
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN209356843U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 胡文斌;孫紅艷;顏維成;李司元
• 申請（專利權）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類號: G03F7/16
• 分類號: G03F7/16;B08B3/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構，包括U型支架、空氣噴嘴、節流閥、便拆部、清潔干燥空氣制造器和電動閥，所述U型支架上方部分貫穿開設第一通孔，第一通孔內固定安裝溶劑運輸管一端，U型支架的上方部分底部設置便拆部，便拆部底部底部安裝溶劑噴嘴，U型支架的上方部分頂部開設安裝槽，并設置清潔干燥空氣制造器，U型支架上方部分貫穿開設第二通孔，第二通孔和安裝槽內部連通，位于U型支架上方部分的底部開設空氣噴嘴安裝槽，第二通孔和空氣噴嘴安裝槽內部連通，空氣噴嘴安裝槽內安裝噴管螺紋底座，噴管螺紋底座通過空氣噴管安裝空氣噴嘴本設計能夠使光阻去邊尺寸工藝更加穩定并防止溶劑飛濺。

技術領域

本實用新型涉及驅動芯片金凸塊封裝領域，具體是一種光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構。

背景技術

在金凸塊封裝光刻制程中，進行光阻涂布時會進行光阻去邊清洗，通常是使用管路彎頭噴灑溶劑至晶圓邊緣以達到去除邊緣光阻的目的，正如圖2所示，但此結構工藝穩定性較差，導致洗邊尺寸時常超出管控規格，而且由于溶劑飛濺也易造成PR Open不良，需要設計一種新型的光阻去邊噴嘴結構，解決洗邊尺寸時常超出管控規格以及溶劑飛濺造成PROpen的問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：

一種光刻制程中的新型光阻去邊噴嘴結構，包括U型支架、空氣噴嘴、節流閥、便拆部、溶劑運輸管、清潔干燥空氣制造器、電動閥和風機盒，所述U型支架豎直部分右側固定安裝有兩個運輸泵，運輸泵沿前后方向設置，U型支架上方部分貫穿開設有第一通孔，第一通孔內固定安裝有溶劑運輸管一端，溶劑運輸管的另一端固定安裝在一個運輸泵的輸出端，U型支架的上方部分底部設置有便拆部，便拆部包括溶劑噴嘴安裝槽，U型支架的上方部分底部開設有溶劑噴嘴安裝槽，溶劑噴嘴安裝槽頂部和溶劑運輸管的輸出端連通，溶劑噴嘴安裝槽內螺紋安裝有溶劑噴嘴安裝座，溶劑噴嘴安裝座內貫穿開設有通孔，溶劑噴嘴安裝座底部固定安裝有溶劑噴嘴，溶劑噴嘴和溶劑噴嘴安裝座內部通孔連通，U型支架的上方部分頂部開設有安裝槽，安裝槽內設置有清潔干燥空氣制造器，清潔干燥空氣制造器包括風機盒，所述風機盒固定安裝在安裝槽內側底部，風機盒內側頂部固定安裝有風機，風機盒的出風口處設置有出風管，風機的出風處正對出風管，U型支架上方部分貫穿開設有第二通孔，第二通孔和安裝槽內部連通，出風管的固定安裝在第二通孔內，位于U型支架上方部分的底部開設有空氣噴嘴安裝槽，第二通孔和空氣噴嘴安裝槽內部連通，空氣噴嘴安裝槽內螺紋安裝有噴管螺紋底座，噴管螺紋底座內縱向貫穿開設有孔洞，噴管螺紋底座底部固定安裝有空氣噴管的一端，空氣噴管的另一端螺紋安裝有空氣噴嘴，空氣噴嘴內貫穿開設有空氣噴孔，空氣噴孔的底部設有電動閥，所述U型支架的下方部分所安裝結構以及結構的連接關系和U型支架上方部分完全相同，U型支架內側中央設置有晶圓。

作為本實用新型進一步的方案：其特征在于，所述溶劑噴嘴安裝座頂部和溶劑噴嘴安裝槽頂部連接處設置有防漏墊片。

作為本實用新型再進一步的方案：其特征在于，所述風機盒左右兩側貫穿開設有孔洞，孔洞內固定安裝有空氣干燥清潔網。

作為本實用新型再進一步的方案：其特征在于，所述U型支架豎直部分左側轉動安裝有攝像頭，U型支架豎直部分右側固定安裝有顯示器。

作為本實用新型再進一步的方案：其特征在于，所述溶劑運輸管底部固定安裝有支架的一端，支架的另一端固定安裝在U型支架上。