[實用新型]一種蝕刻制程中的新型鐵氟龍治具有效

申請號：	201821921713.1	申請日：	2018-11-21
公開（公告）號：	CN209045500U	公開（公告）日：	2019-06-28
發明（設計）人：	張家偉;朱翔宇;江富杰;李司元	申請（專利權）人：	合肥新匯成微電子有限公司
主分類號：	H01L21/67	分類號：	H01L21/67
代理公司：	暫無信息	代理人：	暫無信息
地址：	230000 安徽***	國省代碼：	安徽;34
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摘要：
搜索關鍵詞：	橫梁安裝板支撐腿蝕刻制程治具本體卡板本實用新型導流塊鐵氟龍導軌治具背離一體注塑成型垂直連接對立設置平行設置生產效率有效解決導流孔外頂部中藥液卡扣內壁殘留垂直
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【權利要求書】：

1.一種蝕刻制程中的新型鐵氟龍治具，包括治具本體(1)，其特征在于，所述治具本體為長方體框且治具本體包括兩垂直方向上對立設置的安裝板(2)以及垂直連接在安裝板(2)間的橫梁(3)和支撐腿(4)，所述橫梁(3)和支撐腿(4)的數量各為兩個且橫梁(3)和支撐腿(4)平行設置，所述安裝板內壁底部設有導軌(5)，導軌(5)上均勻設有T型導流塊(6)和導流孔(7)，所述安裝板(2)背離橫梁(3)外頂部垂直設有卡板(8)，卡板(8)背離橫梁(3)外側設有卡扣(9)，所述安裝板(2)、橫梁(3)、支撐腿(4)、卡板(8)和T型導流塊(6)為一體注塑成型。

2.根據權利要求1所述的蝕刻制程中的新型鐵氟龍治具，其特征在于，所述T型導流塊(6)和導流孔(7)的數量各為四個。

3.根據權利要求1所述的蝕刻制程中的新型鐵氟龍治具，其特征在于，所述卡板(8)的高度小于安裝板(2)高度。

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