[實用新型]一種蝕刻設(shè)備管路排水優(yōu)化系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821921712.7
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN209243180U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 韋磊;杜俊坤;彭煒棠
• 申請（專利權(quán)）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23F1/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了一種蝕刻設(shè)備管路排水優(yōu)化系統(tǒng)，包括藥液進入管，過濾器，內(nèi)槽進入管和過濾器排放管，所述內(nèi)槽進入管與過濾器排放管間連通一連動管，所述過濾器排放管的端部固定連接有用于廢液引流的T型三通Ⅰ，所述T型三通Ⅰ兩端分別連接過濾器出水管和連動管，另一端與內(nèi)槽進入管連接，所述連動管與過濾器排放管連接處固定連接有T型三通Ⅱ，連動管與內(nèi)槽進入管和過濾器排放管連接端口處均設(shè)有控制管路開關(guān)的氣動閥。本實用新型可以減少管路內(nèi)殘水，降低藥液含水量，提高制程良率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及驅(qū)動芯片金凸塊封裝領(lǐng)域領(lǐng)域，具體是一種蝕刻設(shè)備管路排水優(yōu)化系統(tǒng)。

背景技術(shù)

一般金凸塊制造工藝，包括如下步驟：濺鍍：在集成電路芯片表面濺鍍金屬膜；光阻涂布：用光阻涂布機在芯片表面涂覆厚度為15-40微米的光阻；曝光：用曝光機，對無需生長金凸塊位置的光阻進行曝光；顯影：用顯影機和顯影液去除掉未曝光區(qū)的光阻，將需要生長金凸塊的位置打開開窗；電鍍金：在芯片上光阻開窗區(qū)鍍10-15微米高度的金凸塊；光阻去除；進行電漿處理和金蝕刻處理去除濺鍍金屬膜中的金層；鈦鎢蝕刻以去除濺鍍金屬膜中的鈦鎢膜，本步鈦鎢蝕刻的作用是去除金凸塊兩側(cè)濺鍍的鈦鎢膜。

在光阻去除中使用設(shè)備去光阻機，在藥液到期時排液后需要注水循環(huán)清洗，清洗完成后，從過濾器至內(nèi)槽的管路中會有一部分水無法完全排盡，在重新注入藥液建浴時，該管路內(nèi)的水與藥液混合會增加藥液的含水量，藥液的含水量增加，影響藥液性能，降低制程良率。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種蝕刻設(shè)備管路排水優(yōu)化系統(tǒng)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

為實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

一種蝕刻設(shè)備管路排水優(yōu)化系統(tǒng)，包括藥液進入管，過濾器，內(nèi)槽進入管和過濾器排放管，其特征在于，所述內(nèi)槽進入管與過濾器排放管間連通一連動管，所述過濾器排放管的端部固定連接有用于廢液引流的T型三通Ⅰ，所述T型三通Ⅰ兩端分別連接過濾器出水管和連動管，另一端與內(nèi)槽進入管連接，所述連動管與過濾器排放管連接處固定連接有T型三通Ⅱ，連動管與內(nèi)槽進入管和過濾器排放管連接端口處均設(shè)有控制管路開關(guān)的氣動閥。

作為本實用新型進一步的方案：所述T型三通Ⅰ與連動管連接處還設(shè)有用于管路轉(zhuǎn)接的1寸轉(zhuǎn)1/2直通。

作為本實用新型再進一步的方案：所述T型三通Ⅰ為1寸T型三通。

作為本實用新型再進一步的方案：所述T型三通Ⅱ為1/2寸T型三通。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益效果是：

本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，在操作過程中，藥液從外槽出，經(jīng)過加熱器、泵、過濾器循環(huán)再至槽內(nèi)，循環(huán)系統(tǒng)內(nèi)過濾器至內(nèi)槽這段管路內(nèi)的殘水在排放時，通過加裝的三通接頭對藥液進行引流，通過加裝的氣動閥控制廢水的排放，排放管路接入至過濾器排放管，在進行過濾器廢水排放時同時啟動加裝的氣動閥，進而將無法排放的廢水排出。

附圖說明

圖1為蝕刻設(shè)備管路排水優(yōu)化系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為現(xiàn)有技術(shù)中的蝕刻設(shè)備管路排水系統(tǒng)。

其中：1、藥液進入管；2、過濾器；3、過濾器排放管；4、T型三通Ⅱ；5、連動管；6、氣動閥；7、1寸轉(zhuǎn)1/2直通；8、T型三通Ⅰ；9、內(nèi)槽進入管；10、過濾器出水管。

具體實施方式

下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。