[實用新型]一種蝕刻設備管路排水優化系統

有效

• 申請號: 201821921712.7
• 申請日: 2018-11-21
• 公開（公告）號: CN209243180U
• 公開（公告）日: 2019-08-13
• 發明（設計）人: 韋磊;杜俊坤;彭煒棠
• 申請（專利權）人: 合肥新匯成微電子有限公司
• 主分類號: C23F1/08
• 分類號: C23F1/08;C23F1/46
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種蝕刻設備管路排水優化系統，包括藥液進入管(1)，過濾器(2)，內槽進入管(9)和過濾器排放管(3)，其特征在于，所述內槽進入管(9)與過濾器排放管(3)間連通一連動管(5)，所述過濾器排放管(3)的端部固定連接有用于廢液引流的T型三通Ⅰ(8)，所述T型三通Ⅰ(8)兩端分別連接過濾器出水管(10)和連動管(5)，另一端與內槽進入管(9)連接，所述連動管(5)與過濾器排放管(3)連接處固定連接有T型三通Ⅱ(4)，連動管(5)與內槽進入管和過濾器排放管(3)連接端口處均設有控制管路開關的氣動閥(6)。

2.根據權利要求1所述的蝕刻設備管路排水優化系統，其特征在于，所述T型三通Ⅰ(8)與連動管(5)連接處還設有用于管路轉接的1寸轉1/2直通(7)。

3.根據權利要求1所述的蝕刻設備管路排水優化系統，其特征在于，所述T型三通Ⅰ(8)為1寸T型三通。

4.根據權利要求1所述的蝕刻設備管路排水優化系統，其特征在于，所述T型三通Ⅱ(4)為1/2寸T型三通。