[實用新型]一種紫外線曝光機用氮氣幕

有效

• 申請號: 201821900348.6
• 申請日: 2018-11-16
• 公開（公告）號: CN209118056U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 朱文龍
• 申請（專利權）人: 海太半導體（無錫）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 無錫市朗高知識產權代理有限公司 32262
• 代理人: 趙華

1.一種紫外線曝光機用氮氣幕，其特征在于，包括氮氣幕殼體(1)、底座(2)、氣道(3)、出氣孔(4)、連接塊(5)和圍擋邊(6)，所述氮氣幕殼體(1)呈圓弧形并固定安裝在底座(2)上，所述氮氣幕殼體(1)內設置有出氣孔(4)，所述氮氣幕殼體(1)內部設置有連接氣源與出氣孔(4)的氣道(3)，所述氮氣幕殼體(1)外徑圈上設置有連接塊(5)，所述氮氣幕殼體(1)靠近凸起一側的外圓周上設置有圍擋邊(6)，所述氮氣幕殼體(1)表面涂布有特氟龍，材質采用陶瓷。

2.根據權利要求1所述的紫外線曝光機用氮氣幕，其特征在于：所述氮氣幕殼體(1)通過螺栓固定安裝在底座(2)上，所述螺栓設置有多個與出氣孔(4)對應，呈圓形陣列狀分布。

3.根據權利要求2所述的紫外線曝光機用氮氣幕，其特征在于：所述出氣孔(4)圍繞氮氣幕殼體(1)的圓心呈環形陣列狀分布，每一列所述出氣孔(4)設置有多個，對應的所述氣道(3)以圓心為中心發散設置。

4.根據權利要求3所述的紫外線曝光機用氮氣幕，其特征在于：每一列所述出氣孔(4)設置有四個，在所述氮氣幕殼體(1)上設置有八列上述出氣孔(4)。

5.根據權利要求4所述的紫外線曝光機用氮氣幕，其特征在于：所述氮氣幕殼體(1)的凸起部分正對產品，所述產品下方設置有紫外線光源(7)，所述氮氣幕殼體(1)和紫外線光源(7)均安裝在工作腔體(8)內，所述工作腔體(8)內在產品入口內的上方設置有傳感器(9)，所述傳感器(9)與安裝在氮氣幕殼體(1)上的電磁閥連接。

6.根據權利要求5所述的紫外線曝光機用氮氣幕，其特征在于：所述連接塊(5)上設置有螺栓孔(10)，所述螺栓孔(10)穿過螺栓與工作腔體(8)固定連接。

7.根據權利要求6所述的紫外線曝光機用氮氣幕，其特征在于：所述傳感器(9)為光學傳感器。