[實(shí)用新型]等離子體發(fā)生設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821886144.1
• 申請(qǐng)日: 2018-11-15
• 公開（公告）號(hào): CN209402811U
• 公開（公告）日: 2019-09-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李松舉;付東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 廣東聚華印刷顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H05H1/46
• 分類號(hào): H05H1/46
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 黃菲

1.一種等離子體發(fā)生設(shè)備，其特征在于，包括反應(yīng)腔體以及設(shè)置在所述反應(yīng)腔體內(nèi)的接地電極和射頻電極；所述接地電極包括電極板以及連接于所述電極板一側(cè)的多個(gè)棒狀電極，所述電極板具有用于與反應(yīng)氣體源連通的通氣腔，所述棒狀電極上設(shè)有與所述通氣腔相連通的通氣孔，所述通氣孔貫穿至所述棒狀電極遠(yuǎn)離所述電極板的一側(cè)，所述射頻電極上對(duì)應(yīng)多個(gè)所述棒狀電極設(shè)有多個(gè)電極通孔，所述接地電極設(shè)于所述射頻電極的上方，各所述棒狀電極分別伸入至各所述電極通孔內(nèi)，所述接地電極與所述射頻電極之間電絕緣。

2.如權(quán)利要求1所述的等離子體發(fā)生設(shè)備，其特征在于，所述電極板上圍繞各所述棒狀電極分別設(shè)有多個(gè)出氣孔，所述出氣孔與所述通氣腔連通。

3.如權(quán)利要求1所述的等離子體發(fā)生設(shè)備，其特征在于，多個(gè)所述棒狀電極以及多個(gè)所述電極通孔均呈陣列分布。

4.如權(quán)利要求1所述的等離子體發(fā)生設(shè)備，其特征在于，所述棒狀電極的密度為1～3個(gè)/平方厘米。

5.如權(quán)利要求1所述的等離子體發(fā)生設(shè)備，其特征在于，從所述電極板的中心至所述電極板的邊緣的方向上，任意相鄰的兩個(gè)所述棒狀電極中，前一所述棒狀電極的長(zhǎng)度不小于后一所述棒狀電極的長(zhǎng)度，且位于所述電極板的中心的棒狀電極的長(zhǎng)度大于位于所述電極板的邊緣的棒狀電極的長(zhǎng)度。

6.如權(quán)利要求5所述的等離子體發(fā)生設(shè)備，其特征在于，從所述電極板的中心至所述電極板的邊緣的方向上，任意相鄰的兩個(gè)所述棒狀電極中，前一所述棒狀電極的長(zhǎng)度大于后一所述棒狀電極的長(zhǎng)度。

7.如權(quán)利要求1所述的等離子體發(fā)生設(shè)備，其特征在于，所述棒狀電極與所述電極板可拆卸式連接。

8.如權(quán)利要求1所述的等離子體發(fā)生設(shè)備，其特征在于，所述棒狀電極的直徑小于所述電極通孔的內(nèi)徑。

9.如權(quán)利要求1～8任一項(xiàng)所述的等離子體發(fā)生設(shè)備，其特征在于，還包括隔離裝置，所述隔離裝置包括絕緣機(jī)構(gòu)、接地板塊以及射頻板塊，所述接地板塊與所述射頻板塊分別設(shè)置在所述絕緣機(jī)構(gòu)上并由所述絕緣機(jī)構(gòu)絕緣隔開，所述隔離裝置設(shè)置在所述接地電極和所述射頻電極之間，所述接地板塊與所述接地電極連接，所述射頻板塊與所述射頻電極連接。

10.如權(quán)利要求1～8任一項(xiàng)所述的等離子體發(fā)生設(shè)備，其特征在于，還包括承載臺(tái)，所述承載臺(tái)設(shè)置在所述反應(yīng)腔體中且位于所述射頻電極的下方。