[實用新型]一種輔助測試硅片電阻率的模具

有效

• 申請號: 201821875449.2
• 申請日: 2018-11-14
• 公開（公告）號: CN209513913U
• 公開（公告）日: 2019-10-18
• 發明（設計）人: 馬飛
• 申請（專利權）人: 內蒙古中環領先半導體材料有限公司
• 主分類號: G01R27/08
• 分類號: G01R27/08;G01R1/04
• 代理公司: 天津諾德知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 12213
• 代理人: 欒志超

1.一種輔助測試硅片電阻率的模具，包括模具本體，其特征在于：所述模具本體為圓柱形片狀物，所述模具本體上設有測試孔，所述測試孔包括中心點測試孔和邊緣點測試孔，所述中心點測試孔為圓柱孔，所述中心點測試孔置于所述模具本體中心部位，所述邊緣點測試孔為長條狀，所述邊緣點測試孔包括四條，所述邊緣點測試孔以所述中心點測試孔為中心放射狀分布，四條所述邊緣點測試孔呈“十”字形分布，所述邊緣點測試孔內設有限位裝置。

2.根據權利要求1所述的一種輔助測試硅片電阻率的模具，其特征在于：所述限位裝置包括限位擋片和限位彈簧，所述限位擋片置于所述邊緣點測試孔內，所述限位彈簧一端連接所述限位擋片，所述限位彈簧另一端連接所述模具本體邊緣處。

3.根據權利要求2所述的一種輔助測試硅片電阻率的模具，其特征在于：所述限位擋片背對所述中心點測試孔的一端連接所述限位彈簧，所述限位擋片正對所述中心點測試孔的一端設有防滑裝置。

4.根據權利要求1至3任一所述的一種輔助測試硅片電阻率的模具，其特征在于：所述模具本體上設有刻度線，所述刻度線以所述中心點測試孔為中心呈環狀分布，所述刻度線為多條，所述刻度線之間設有間距L。

5.根據權利要求4所述的一種輔助測試硅片電阻率的模具，其特征在于：所述間距L的尺寸為1mm。

6.根據權利要求4所述的一種輔助測試硅片電阻率的模具，其特征在于：所述刻度線處設有標識物。

7.根據權利要求1或2所述的一種輔助測試硅片電阻率的模具，其特征在于：所述邊緣點測試孔距離所述模具本體的邊緣處設有間距H。

8.根據權利要求7所述的一種輔助測試硅片電阻率的模具，其特征在于：所述間距H的尺寸為1mm。

9.根據權利要求7所述的一種輔助測試硅片電阻率的模具，其特征在于：所述邊緣點測試孔距離所述中心點測試孔設有間距D。

10.根據權利要求9所述的一種輔助測試硅片電阻率的模具，其特征在于：所述間距D的尺寸為1mm。