[實(shí)用新型]用于測(cè)量物體變形的裝置

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821872754.6
• 申請(qǐng)日: 2018-11-14
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN209102014U
• 公開(kāi)（公告）日: 2019-07-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐小波;李久坤
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 英特爾產(chǎn)品（成都）有限公司;英特爾公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01B11/16
• 分類(lèi)號(hào): G01B11/16
• 代理公司: 北京永新同創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11376
• 代理人: 楊勝軍

本實(shí)用新型提一種用于測(cè)量物體變形的裝置，它包括：設(shè)置有用于測(cè)量距離的刻度的基臂；設(shè)置在所述基臂上并且能夠發(fā)射可見(jiàn)光束的光源；設(shè)置在所述光源前側(cè)的光調(diào)節(jié)器，所述光調(diào)節(jié)器能夠調(diào)節(jié)所述光源發(fā)射的可見(jiàn)光束的大小和/或強(qiáng)度；以及安裝在所述基臂上并且能夠相對(duì)于所述基臂移動(dòng)的移動(dòng)臂,所述移動(dòng)臂具有相對(duì)于所述基臂垂直地延伸以便能夠與所述基臂上的刻度對(duì)齊的至少一個(gè)平坦面。根據(jù)本實(shí)用新型的用于測(cè)量物體變形的裝置使得測(cè)量物體是否變形變得簡(jiǎn)單易行，與物體相關(guān)的設(shè)備也無(wú)需中斷作業(yè)，確保與物體相關(guān)的設(shè)備具有較高的作業(yè)效率。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及判斷物體是否變形，尤其涉及一種用于測(cè)量物體變形的裝置。

背景技術(shù)

在實(shí)踐中經(jīng)常需要確定物體是否變形。例如，在半導(dǎo)體工業(yè)中，需要使用芯片測(cè)試單元對(duì)芯片進(jìn)行測(cè)試，芯片測(cè)試單元的測(cè)試頭由測(cè)試頭支撐導(dǎo)軌支撐。如果支撐導(dǎo)軌發(fā)生變形，測(cè)試頭末端的連接接頭有可能在測(cè)試頭安裝過(guò)程中與測(cè)試頭支撐導(dǎo)軌的端部發(fā)生碰撞，導(dǎo)致價(jià)格昂貴的測(cè)試頭受到損壞。為了減少或避免由于測(cè)試頭的損壞導(dǎo)致的損失，需要經(jīng)常對(duì)芯片測(cè)試單元的測(cè)試頭支撐導(dǎo)軌是否變形進(jìn)行測(cè)量。

現(xiàn)有的用于測(cè)量物體變形的方法通常是在芯片測(cè)試單元停機(jī)的情況下，利用尺子來(lái)測(cè)量芯片測(cè)試單元上的基準(zhǔn)面與支撐導(dǎo)軌之間的距離，將測(cè)量的距離與設(shè)計(jì)距離進(jìn)行比較來(lái)判斷支撐導(dǎo)軌是否變形。這種測(cè)試過(guò)程需要芯片測(cè)試單元停機(jī)相當(dāng)長(zhǎng)的時(shí)間，芯片測(cè)試作業(yè)被迫暫時(shí)中斷，導(dǎo)致生產(chǎn)效率下降。

因此，需要對(duì)現(xiàn)有的用于測(cè)量物體變形的裝置進(jìn)行改進(jìn)。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的就是要提出一種改進(jìn)的用于測(cè)量物體變形的裝置，這種用于測(cè)量物體變形的裝置可以在保持與物體相關(guān)的設(shè)備正常作業(yè)的情況下測(cè)量物體是否變形，從而使得測(cè)量物體是否變形變得簡(jiǎn)單易行，與物體相關(guān)的設(shè)備也無(wú)需中斷作業(yè)，確保較高的作業(yè)效率。

根據(jù)本實(shí)用新型，提供一種用于測(cè)量物體變形的裝置，包括：

設(shè)置有用于測(cè)量距離的刻度的基臂；

設(shè)置在所述基臂上并且能夠發(fā)射可見(jiàn)光束的光源；

設(shè)置在所述光源前側(cè)的光調(diào)節(jié)器，所述光調(diào)節(jié)器能夠調(diào)節(jié)所述光源發(fā)射的可見(jiàn)光束的大小和/或強(qiáng)度；以及

安裝在所述基臂上并且能夠相對(duì)于所述基臂移動(dòng)的移動(dòng)臂,所述移動(dòng)臂具有相對(duì)于所述基臂垂直地延伸以便能夠與所述基臂上的刻度對(duì)齊的至少一個(gè)平坦面。

優(yōu)選地，在所述基臂中設(shè)置有定心軸承，所述光源和/或所述光調(diào)節(jié)器被安裝在定心軸承的內(nèi)圈上。

優(yōu)選地，所述光源是激光發(fā)射器。

優(yōu)選地，在所述光調(diào)節(jié)器的前方設(shè)置用于匯聚光束的匯聚透鏡。

優(yōu)選地，與所述光源的中心相對(duì)應(yīng)的位置被設(shè)置為零刻度位置。

優(yōu)選地，所述光調(diào)節(jié)器還被設(shè)置成能夠?qū)⑺龉庠窗l(fā)射的可見(jiàn)光束調(diào)節(jié)成與所述基臂垂直的準(zhǔn)直光束。

優(yōu)選地，所述至少一個(gè)平坦面包括相互平行并且相反地形成在所述移動(dòng)臂上的兩個(gè)平坦面。

優(yōu)選地，所述移動(dòng)臂上還設(shè)置有吸附裝置。

優(yōu)選地，所述吸附裝置是設(shè)置在所述移動(dòng)臂中的磁鐵。

優(yōu)選地，所述用于測(cè)量物體變形的裝置還包括將所述移動(dòng)臂鎖定在所述基臂上的鎖定機(jī)構(gòu)。

優(yōu)選地，所述物體是芯片測(cè)試單元的測(cè)試頭支撐導(dǎo)軌。