[實用新型]用于測量物體變形的裝置

有效

• 申請號: 201821872754.6
• 申請日: 2018-11-14
• 公開（公告）號: CN209102014U
• 公開（公告）日: 2019-07-12
• 發明（設計）人: 唐小波;李久坤
• 申請（專利權）人: 英特爾產品（成都）有限公司;英特爾公司
• 主分類號: G01B11/16
• 分類號: G01B11/16
• 代理公司: 北京永新同創知識產權代理有限公司 11376
• 代理人: 楊勝軍

1.一種用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，所述用于測量物體變形的裝置(1)包括：

設置有用于測量距離的刻度的基臂(3)；

設置在所述基臂(3)上并且能夠發射可見光束(L)的光源(5)；

設置在所述光源(5)前側的光調節器(7)，所述光調節器(7)能夠調節所述光源(5)發射的可見光束(L)的大小和/或強度；以及

安裝在所述基臂(3)上并且能夠相對于所述基臂(3)移動的移動臂(11),所述移動臂(11)具有相對于所述基臂(3)垂直地延伸以便能夠與所述基臂(3)上的刻度對齊的至少一個平坦面。

2.根據權利要求1所述的用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，在所述基臂(3)中設置有定心軸承(8)，所述光源(5)和/或所述光調節器(7)被安裝在定心軸承(8)的內圈上。

3.根據權利要求1所述的用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，所述光源(5)是激光發射器。

4.根據權利要求1所述的用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，在所述光調節器(7)的前方設置用于匯聚光束的匯聚透鏡(9)。

5.根據權利要求1所述的用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，與所述光源(5)的中心相對應的位置被設置為零刻度位置。

6.根據權利要求1所述的用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，所述光調節器(7)還被設置成能夠將所述光源(5)發射的可見光束(L)調節成與所述基臂(3)垂直的準直光束。

7.根據權利要求1所述的用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，所述至少一個平坦面包括相互平行并且相反地形成在所述移動臂(11)上的兩個平坦面(11a，11b)。

8.根據權利要求1所述的用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，所述移動臂(11)上還設置有吸附裝置(13)。

9.根據權利要求8所述的用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，所述吸附裝置(13)是設置在所述移動臂(11)中的磁鐵。

10.根據權利要求1所述的用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，所述用于測量物體變形的裝置(1)還包括將所述移動臂(11)鎖定在所述基臂(3)上的鎖定機構。

11.根據權利要求1所述的用于測量物體變形的裝置(1)，其特征在于，所述物體是芯片測試單元的測試頭支撐導軌。