[實用新型]一種拋光液循環利用的化學機械拋光設備有效
| 申請號： | 201821871781.1 | 申請日： | 2018-11-14 |
| 公開（公告）號： | CN209021902U | 公開（公告）日： | 2019-06-25 |
| 發明（設計）人： | 章建群;汪選合;章慧云 | 申請（專利權）人： | 江西現代職業技術學院 |
| 主分類號： | B24B57/04 | 分類號： | B24B57/04 |
| 代理公司： | 南昌新天下專利商標代理有限公司 36115 | 代理人： | 戴繼翔 |
| 地址： | 330000 江西省南*** | 國省代碼： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 拋光液 化學機械拋光設備 循環利用 拋光箱 下端 轉動軸 轉盤 上端固定 出液口 聯軸器 增壓泵 電機 本實用新型 增壓泵進口 滴管 方便操作 拋光墊 箱右端 上端 接管 穿過 節約 | ||
1.一種拋光液循環利用的化學機械拋光設備，包括拋光箱（1），其特征在于：所述拋光箱（1）底部上端固定連接有轉盤（2），所述轉盤（2）的上端固定安裝有拋光墊（3），所述轉盤（2）的下端固定連接有轉動軸（4），所述轉動軸（4）穿過拋光箱（1），所述轉動軸（4）下端固定連接有聯軸器（5），所述聯軸器（5）的下端固定安裝有電機（6），所述電機（6）的下端固定連接有底架（7），所述底架（7）的上端固定安裝有拋光箱（1），所述拋光箱（1）上端固定連接有支撐平臺（8），所述支撐平臺（8）內貫穿連接有液壓氣缸（9），所述液壓氣缸（9）下端伸縮桿固定連接有研磨體（10），所述底架（7）前端固定連接有拋光液箱（11），所述拋光液箱（11）前端的上方固定安裝有加液口（12），所述拋光液箱（11）左端固定連接有拋光液箱進液口（13），所述拋光箱（1）左端的下方固定連接有拋光箱出液口（14），所述拋光液箱進液口（13）和拋光箱出液口（14）間設置有連接管（15），所述拋光液箱（11）右端固定安裝有拋光液箱出液口（16），所述拋光箱（1）右端固定連接有增壓泵（17），所述拋光液箱出液口（16）和增壓泵（17）進口處設置有另一連接管（15），所述增壓泵（17）上端出口處固定連接有拋光液滴管（18）。
2.根據權利要求1所述的一種拋光液循環利用的化學機械拋光設備，其特征在于：所述轉盤（2）和拋光墊（3）的直徑小于拋光箱（1）的寬度，且轉盤（2）和拋光墊（3）的直徑小于拋光箱（1）的長度。
3.根據權利要求1所述的一種拋光液循環利用的化學機械拋光設備，其特征在于：所述研磨體（10）位于轉盤（2）的上方，且研磨體（10）到轉盤（2）中心點的距離小于轉盤（2）的半徑。
4.根據權利要求1所述的一種拋光液循環利用的化學機械拋光設備，其特征在于：所述加液口（12）的高度高于拋光液箱出液口（16）的高度。
5.根據權利要求1所述的一種拋光液循環利用的化學機械拋光設備，其特征在于：所述拋光箱出液口（14）的最低點等于拋光箱（1）內的最低點，且拋光箱出液口（14）的高度高于拋光液箱進液口（13）的高度。
6.根據權利要求1所述的一種拋光液循環利用的化學機械拋光設備，其特征在于：所述拋光液滴管（18）的最高點高于拋光箱（1）的最高點，且拋光液滴管（18）到轉盤（2）中心點的距離小于轉盤（2）的半徑。
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