[實用新型]平行光曝光機的光源組件及光源系統

有效

• 申請號: 201821869241.X
• 申請日: 2018-11-14
• 公開（公告）號: CN209215862U
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 楊小麗
• 申請（專利權）人: 富麗明企業有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

本實用新型提供一種平行光曝光機的光源組件及光源系統，光源組件包含基座、電路板、LED芯片組、光學透鏡組及調整支架；電路板設置于基座上；LED芯片組設置于電路板上；光學透鏡組被配置于LED芯片組之前；調整支架設置于基座上，用以調整光學透鏡組與LED芯片組之間的距離，本實用新型實施例的光源組件及光源系統可應用于平行光曝光機，可作為傳統高壓短弧汞燈的替代光源。

技術領域

本實用新型是關于一種平行光曝光機的光源組件及光源系統，其作為提供曝光制程所需的光源(例如紫外光)，而為曝光機上的一種模塊組件；或亦可作為傳統曝光機的替代光源模塊。

背景技術

請參照圖1，其為現有技術的平行光曝光機的光源結構示意圖。

現有技術的平行光曝光機的光源系統100大多采用高壓短弧汞燈101，其置于聚光反光碗102中，經過平面反射鏡103及光學構件104等相關光學組件，對平行光曝光機的受照面(圖未示)提供紫外光源。

然而，現有技術的曝光機的曝光光源存在下列缺失：首先，高壓短弧汞燈101的平均壽命僅有1200-1500小時，相對壽命較短，因而需要頻繁的更換，致使提高采購成本。其次，采用高壓短弧汞燈101的光電轉換效率不佳，耗電量大，不僅提高了使用成本，還存在耗能的缺點。再者，高壓短弧汞燈101衰減快，因此使用一段時間之后，高壓短弧汞燈101對曝光機的受照面提供的照度與均勻度就不足了，故需要經常性地檢修維護及汰換高壓短弧汞燈101，致使生產效率的降低。另一方面，高壓短弧汞燈101無論制造過程與廢棄皆存在有污染的問題，而具有不環保的缺點。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型的一目的在于提供一種模塊化而可快速替代現有技術的平行光曝光機光源的光源系統。

本實用新型的另一目的在于提供一種可調整光源出光角度及/或光斑大小的組件配置，進而增進受照面的光照度與光強度可調性及均勻性的光源系統。

本實用新型的再一目的在于解決現有技術的曝光機光源采用高壓短弧汞燈而產生壽命短、光電轉換效率不佳、耗電量大及不環保等缺失。

為達上述目的及其它目的，本實用新型公開一種平行光曝光機的光源組件，包含基座、電路板、LED芯片組、光學透鏡組及調整支架；所述電路板設置于所述基座上；所述LED芯片組設置于所述電路板上；所述光學透鏡組被配置于所述LED芯片組之前；所述調整支架設置于所述基座上，用以調整所述光學透鏡組與所述LED芯片組之間的距離。

于本實用新型的一實施例中，所述LED芯片組具有數組排列的多個LED芯片，所述光學透鏡組具有對應于每一LED芯片的多個透鏡。

于本實用新型的一實施例中，所述基座具有冷卻流體槽及流體進出管路，所述冷卻流體槽配置于所述基座內并與流體進出管路連通。

于本實用新型的一實施例中，所述光學透鏡組結合于所述調整支架上，所述調整支架具有多個調整孔位，以通過螺絲鎖固于各所述調整孔位中來使所述調整支架組裝于所述基座上。

為達上述目的及其它目的，本實用新型還公開一種平行光曝光機的光源系統，包含上述的光源組件，所述多個光源組件以數組方式排列而成一第一主要光源單元。

于本實用新型的一實施例中，所述多個光源組件以弧面數組方式排列，所述弧面與一球面重合，各所述光源組件的中心線的延長線會聚于所述球面的球心。

于本實用新型的一實施例中，更包含復眼透鏡單元，其相隔地配置于所述第一主要光源單元的出光方向上。

于本實用新型的一實施例中，更包含配置于所述第一主要光源單元側邊的一次要光源單元，所述次要光源單元包括二光源組件及合光鏡，所述二光源組件以初始出光方向彼此垂直的方式配置，且所述合光鏡配置于所述二光源組件出光方向交會的位置，使所述二光源組件經過所述合光鏡后的出光方向平行。