[實用新型]平行光曝光機的光源組件及光源系統

有效

• 申請號: 201821869241.X
• 申請日: 2018-11-14
• 公開（公告）號: CN209215862U
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 楊小麗
• 申請（專利權）人: 富麗明企業有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王寶筠

1.一種平行光曝光機的光源組件，其特征在于，包含：

基座；

電路板，設置于所述基座上；

LED芯片組，設置于所述電路板上；

光學透鏡組，被配置于所述LED芯片組之前；及

調整支架，設置于所述基座上，用以調整所述光學透鏡組與所述LED芯片組之間的距離。

2.如權利要求1所述的光源組件，其特征在于，所述LED芯片組具有數組排列的多個LED芯片，所述光學透鏡組具有對應于每一LED芯片的多個透鏡。

3.如權利要求2所述的光源組件，其特征在于，所述基座具有冷卻流體槽及流體進出管路，所述冷卻流體槽配置于所述基座內并與流體進出管路連通。

4.如權利要求1-3任一項所述的光源組件，其特征在于，所述光學透鏡組結合于所述調整支架上，所述調整支架具有多個調整孔位，以通過螺絲鎖固于各所述調整孔位中來使所述調整支架組裝于所述基座上。

5.一種平行光曝光機的光源系統，其特征在于，包含多個如權利要求1-3中任一項所述的光源組件，所述多個光源組件以數組方式排列而成一第一主要光源單元。

6.如權利要求5所述的光源系統，其特征在于，所述多個光源組件以弧面數組方式排列，所述弧面與一球面重合，各所述光源組件的中心線的延長線會聚于所述球面的球心。

7.如權利要求6所述的光源系統，其特征在于，更包含復眼透鏡單元，其相隔地配置于所述第一主要光源單元的出光方向上。

8.如權利要求5、6或7所述的光源系統，其特征在于，更包含配置于所述第一主要光源單元側邊的一次要光源單元，所述次要光源單元包括二光源組件及合光鏡，所述二光源組件以初始出光方向彼此垂直的方式配置，且所述合光鏡配置于所述二光源組件出光方向交會的位置，使所述二光源組件經過所述合光鏡后的出光方向平行。

9.如權利要求5、6或7所述的光源系統，其特征在于，更包含配置于所述第一主要光源單元側邊的一次要光源單元，所述次要光源單元具有一最終出光方向，并所述次要光源單元包括多個光源組件及多個合光鏡，所述多個光源組件的其中一者是以其出光方向平行于所述最終出光方向的方式配置，其余的所述多個光源組件是以其出光方向垂直于最終出光方向的方式配置，且所述多個合光鏡配置于彼此垂直配置的光源組件的出光方向相互交會的位置處。

10.如權利要求5所述的光源系統，其特征在于，更包含一曲面反射鏡，其相隔地配置于所述第一主要光源單元的出光方向上，所述多個光源組件以平面數組方式排列。

11.如權利要求10所述的光源系統，其特征在于，更包含第二主要光源單元及合光鏡，所述第二主要光源單元是以出光方向垂直于所述第一主要光源單元的方式配置，所述合光鏡配置于所述第二主要光源單元與所述第一主要光源單元出光方向交會的位置，并所述第二主要光源單元是由多個所述光源組件以平面數組排列而成。

12.如權利要求10或11所述的光源系統，其特征在于，更包含復眼透鏡單元，其相隔地配置于所述第一主要光源單元的光線經所述曲面反射鏡反射的反射光方向上。