[實用新型]一種半導體切割裝置

有效

• 申請號: 201821867630.9
• 申請日: 2018-11-13
• 公開（公告）號: CN209439611U
• 公開（公告）日: 2019-09-27
• 發明（設計）人: 朱剛;孔凡平
• 申請（專利權）人: 廈門市原子通電子科技有限公司
• 主分類號: B23K26/38
• 分類號: B23K26/38;B23K26/142;B23K26/402
• 代理公司: 合肥中谷知識產權代理事務所(普通合伙) 34146
• 代理人: 陳少麗

1.一種半導體切割裝置，其特征在于：包括底座(1)、激光切割裝置(2)、清洗裝置(3)、晶圓輸送裝置(4)、物料收集裝置(5)、抽氣裝置和控制器(12)，所述底座(1)表面中心位置設置有貫穿的矩形槽，所述激光切割裝置(2)設置于矩形槽一端的上方，所述激光切割裝置(2)包括柱狀擋光盒，所述擋光盒的頂板下表面設置有T型固定滑塊(22)，所述固定滑塊(22)下方設置有與其相配合的激光支撐板(21)，所述激光支撐板(21)下方設置有第一伸縮桿(23)，所述第一伸縮桿(23)由設置在擋光盒側邊的電機b驅動，所述第一伸縮桿(23)的末端固定連接有激光發射器(24)；

所述清洗裝置(3)包括支撐架和高壓噴淋頭(31)，所述支撐架設置在矩形槽上方，所述支撐架的頂板下表面設置有若干高壓噴淋頭(31)；

所述晶圓輸送裝置(4)包括設置于矩形槽中的晶圓輸送板和與晶圓輸送板固定連接的第二伸縮桿(42)，所述矩形槽的兩側壁均設置有軌道滑槽，所述晶圓輸送板的兩端設置于上述的軌道滑槽中，所述第二伸縮桿(42)由設置在底座(1)下表面的電機a(41)驅動，所述晶圓輸送板中心位置設置有貫穿的矩形凹槽，所述矩形凹槽內轉動連接有翻轉板(43)，所述翻轉板(43)表面設置有放置槽(44)，所述翻轉板(43)與晶圓輸送板之間通過電動旋轉軸(45)固定連接；

所述抽氣裝置包括抽氣泵(6)和與抽氣泵(6)連通的抽氣導管(61)，所述抽氣導管(61)的頂端與靠近激光切割裝置(2)一端的矩形槽相連通；

所述物料收集裝置(5)包括設置于矩形槽下方的物料收集槽(51)。

2.根據權利要求1所述的一種半導體切割裝置，其特征在于：所述激光切割裝置(2)的高度不超過1m，所述第一伸縮桿(23)的伸展最長距離不小于激光切割裝置(2)的高度。

3.根據權利要求1所述的一種半導體切割裝置，其特征在于：所述第二伸縮桿(42)的伸展最長距離不小于矩形槽的長度，所述放置槽(44)的面積不小于待切割的晶圓面積。

4.根據權利要求1所述的一種半導體切割裝置，其特征在于：所述物料收集槽(51)的進料口大小要大于矩形槽的大小。

5.根據權利要求1所述的一種半導體切割裝置，其特征在于：所述清洗裝置(3)的高度不超過80cm，所述翻轉板(43)的旋轉范圍為0～360°。

6.根據權利要求1所述的一種半導體切割裝置，其特征在于：所述控制器(12)的輸出端分別與電機a(41)、電機b、第一伸縮桿(23)、電動旋轉軸(45)、激光發射器(24)、高壓噴淋頭(31)和抽氣泵(6)電路連接。