[實用新型]測量玻璃基板厚度的裝置

有效

• 申請號: 201821859130.0
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN209013929U
• 公開（公告）日: 2019-06-21
• 發明（設計）人: 方紅義;董光明;石志強;李震;李俊生
• 申請（專利權）人: 蕪湖東旭光電科技有限公司;東旭光電科技股份有限公司
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06
• 代理公司: 北京英創嘉友知識產權代理事務所(普通合伙) 11447
• 代理人: 魏嘉熹;南毅寧

1.一種測量玻璃基板厚度的裝置，其特征在于，所述裝置包括：

傳動組件，用于驅動所述玻璃基板沿第一方向移動；

支撐架，架設于所述玻璃基板上方或下方；

厚度檢測器，設于所述支撐架且能夠在所述支撐架上沿著與所述第一方向不同的第二方向滑動；所述厚度檢測器用于檢測所述玻璃基板的厚度。

2.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述支撐架包括：

并排設置的兩個基座；

橫梁，架設于兩個所述基座上方，所述厚度檢測器滑設于所述橫梁。

3.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述厚度檢測器為激光傳感器，所述激光傳感器包括激光發射端及激光接收端；所述激光發射端用于向所述玻璃基板表面發射測試激光，所述激光接收端用于接收所述測試激光經所述玻璃基板上、下表面分別反射的兩個光束。

4.根據權利要求3所述的裝置，其特征在于，所述激光發射端發射的所述測試激光與所述玻璃基板的表面之間的夾角為30°～60°。

5.根據權利要求4所述的裝置，其特征在于，所述夾角為45°。

6.根據權利要求1所述的裝置，其特征在于，所述裝置還包括與所述厚度檢測器通信連接的處理器，所述處理器用于接收所述厚度檢測器的檢測數據并根據所述檢測數據計算所述玻璃基板的厚度。

7.根據權利要求1-6中任一項所述的裝置，其特征在于，所述傳動組件包括：

支撐組件，用于支撐所述玻璃基板；

動力組件，用于驅動由所述支撐組件支撐的所述玻璃基板移動。

8.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述支撐組件包括氣浮條。

9.根據權利要求7所述的裝置，其特征在于，所述動力組件包括：

驅動輪，用于與由所述支撐組件支撐的所述玻璃基板接觸以在所述驅動輪轉動時驅動所述玻璃基板移動；

第一磁力輪，同軸連接于所述驅動輪，所述第一磁力輪用于在自身轉動時帶動所述驅動輪轉動；

第二磁力輪，用于在自身轉動時以非接觸磁力傳動方式帶動所述第一磁力輪轉動；

驅動電機，連接于所述第二磁力輪。

10.根據權利要求9所述的裝置，其特征在于，所述支撐組件兩側均設置有所述驅動輪、所述第一磁力輪及所述第二磁力輪；兩側的所述第二磁力輪均同軸設置有第一傳動軸，位于其中一側的所述第一傳動軸在所述驅動電機驅動下轉動；兩個所述第一傳動軸上均設置有第一齒輪，兩個所述第一傳動軸之間跨接有第二傳動軸，所述第二傳動軸兩端均設有第二齒輪，所述第二齒輪與兩個所述第一傳動軸上的所述第一齒輪對應嚙合。