[實用新型]一種機械手防壓籃結構

有效

• 申請號: 201821856105.7
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN209111114U
• 公開（公告）日: 2019-07-16
• 發明（設計）人: 左國軍;朱家全
• 申請（專利權）人: 常州捷佳創精密機械有限公司
• 主分類號: B25J19/00
• 分類號: B25J19/00;F16J15/14
• 代理公司: 深圳市康弘知識產權代理有限公司 44247
• 代理人: 尹彥;胡朝陽

本實用新型公開了一種機械手防壓籃結構，包括設置在機械臂升降模組上的多個機械臂，還包括通過螺栓與機械臂固定的壓塊，設置在壓塊與機械臂之間用于提籃的掛板，所述掛板上設有條形孔，所述螺栓穿過掛板的條形孔使掛板可沿螺栓上下滑動，所述壓塊和掛板上分別設有相互配合的檢測裝置和被檢測裝置，且檢測裝置和被檢測裝置密封設置，當掛板向上運動時被檢測裝置離開檢測裝置的檢測范圍產生通斷信號輸送至機械臂的PCL控制器使機械臂停止工作。本實用新型通過將被檢測裝置和檢測裝置密封設置，使其可以在含酸堿性的煙霧較大的空間內進行正常工作，且磁性檢測開關的靈敏性好，出錯率低。

技術領域

本實用新型涉及半導體領域，特別涉及一種機械手防壓籃結構。

背景技術

在太陽能硅片的槽式清洗設備和黑硅制絨設備中，需要將裝載硅片的承載件如片盒或花籃等，在各個工藝槽之中依次清洗；清洗過程中，都是依靠機械臂提升、搬運清洗硅片籃來實現的，如果發生脫鉤等異常，使硅片籃未能被提出，將產生硅片籃疊壓，造成工件和硅片籃的損壞。目前市場一般是通過超聲檢測、激光檢測的方法來檢測機械臂上的花籃是否正常提起，但由于槽內反應比較劇烈容易導致設備空間內含酸堿性的煙霧較大，很容易腐蝕檢測設置，導致這兩種方式都無法勝任在如此惡劣的環境下進行正常檢測。

實用新型內容

本實用新型為了解決上述現有技術中存在的技術問題，提出一種機械手防壓籃結構。

本實用新型采用的技術方案是：

一種機械手防壓籃結構，包括設置在機械臂升降模組上的多個機械臂，還包括通過螺栓與機械臂固定的壓塊，設置在壓塊與機械臂之間用于提籃的掛板，所述掛板上設有條形孔，所述螺栓穿過掛板的條形孔使掛板可沿螺栓上下滑動，所述壓塊和掛板上分別設有相互配合的檢測裝置和被檢測裝置，且檢測裝置和被檢測裝置密封設置，當掛板向上運動時被檢測裝置離開檢測裝置的檢測范圍產生通斷信號輸送至機械臂的PCL控制器使機械臂停止工作。

所述螺栓共兩個，并縱向設置。

所述條形孔設置在掛板的上端，所述掛板的下端設有用于抓取硅片籃的掛鉤。

所述壓塊上設有用于安裝被檢測裝置的安裝孔，所述被檢測裝置通過密封膠密封在安裝孔內。

所述掛板上設有用于安裝檢測裝置的工藝孔，所述工藝孔的開口處安裝有可穿過連接線的密封接頭。

所述檢測裝置為磁性開關，所述被檢測裝置為磁鐵。

所述密封膠為環氧樹脂膠。

與現有技術比較，本實用新型的優點在于：

本實用新型通過將被檢測裝置和檢測裝置密封設置，使其可以在含酸堿性的煙霧較大的空間內進行正常工作，且磁性檢測裝置的檢測靈敏性好，出錯率低。

附圖說明

圖1為本實用新型正常狀態的正視圖；

圖2為圖1的局部放大圖；

圖3為本實用新型正常狀態掛板部分的側視圖；

圖4為本實用新型壓籃狀態的正視圖；

圖5為圖4的局部放大圖；

圖6為本實用新型壓籃狀態掛板部分的側視圖。

具體實施方式

下面結合附圖以及實施例對本實用新型的原理及結構進行詳細說明。