[實用新型]一種反應腔內襯

有效

• 申請號: 201821855011.8
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN208835019U
• 公開（公告）日: 2019-05-07
• 發明（設計）人: 李娜;程實然;劉海洋;陳兆超;侯永剛;王鋮熠;胡冬冬;許開東
• 申請（專利權）人: 江蘇魯汶儀器有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32
• 代理公司: 北京得信知識產權代理有限公司 11511
• 代理人: 孟海娟;阿蘇娜

1.一種反應腔內襯，其特征在于，

包括圓環狀側壁(2)主體和設置于其上部的法蘭(3)，其中，法蘭(3)的端面沿著徑向延伸超出側壁(2)，在法蘭(3)外邊緣沿徑向延伸出固定用凸緣(31)，其上開有孔(32)，側壁(2)上開有長方形槽(4)，與反應腔室(50)的側壁上的機械手進出口(51)位置相對應，側壁2設有通孔(22)及蜂窩狀小孔(21)，與側壁(2)底部相接面具有沿徑向向內延伸的圓盤(5)，圓盤(5)的延伸末端與反應腔室(50)中心放置的電極組件(80)的外邊緣配合，圓盤(5)上環向設置有多圈長槽孔(6)。

2.根據權利要求1所述的反應腔內襯，其特征在于，

所述法蘭(3)的端面是圓形或方形。

3.根據權利要求1所述的反應腔內襯，其特征在于，

所述法蘭(3)的端面沿徑向延伸超出所述側壁(2)的長度為6mm～35mm，厚度為5mm～10mm。

4.根據權利要求1所述的反應腔內襯，其特征在于，

在所述法蘭(3)的端面設置有密封槽(33)及導電線圈放置槽(34)，以使反應腔內襯(1)與反應腔室(50)上部的腔蓋組件(60)良好接觸與密封。

5.根據權利要求1所述的反應腔內襯，其特征在于，

所述長方形槽(4)的尺寸與機械手進出口(51)的尺寸相同或略小，以使得機械手能夠進入與伸出反應腔室(50)進行取送片。

6.根據權利要求1所述的反應腔內襯，其特征在于，

所述蜂窩狀小孔(21)的孔徑為1.5mm～3mm。

7.根據權利要求1所述的反應腔內襯，其特征在于，

所述圓盤(5)的厚度為3mm～7mm。

8.根據權利要求1所述的反應腔內襯，其特征在于，

所述長槽孔(6)的寬度為3mm～5mm，每圈具有多個長槽孔(6)，每個所述長槽孔(6)的長度為角度在20°～40°之間的圓弧的長度。

9.根據權利要求8所述的反應腔內襯，其特征在于，

相鄰的兩圈長槽孔(6)之間的間隙為1mm～2.5mm，相臨兩圈的長槽孔(6)錯位分布。

10.根據權利要求1所述的反應腔內襯，其特征在于，

反應腔內襯的材質為鋁、陶瓷或石英。