[實(shí)用新型]一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅用氮封水箱

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201821851146.7
• 申請(qǐng)日: 2018-11-12
• 公開（公告）號(hào): CN209366987U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李金生;蔣星光;程小會(huì)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 河南硅烷科技發(fā)展股份有限公司
• 主分類號(hào): B65D90/14
• 分類號(hào): B65D90/14;B65D90/00;B65D90/44;C01B33/027
• 代理公司: 許昌豫創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 41140
• 代理人: 李海帆

本實(shí)用新型公開了一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅用氮封水箱，包括氮封水箱以及與氮封水箱通過管道連接的氮?dú)膺^濾裝置，氮?dú)膺^濾裝置包括支腿，支腿上端焊接有罩殼，罩殼左右兩端通過螺栓對(duì)稱連接有結(jié)構(gòu)相同的端蓋組合，端蓋組合包括端蓋，端蓋一端焊接有進(jìn)氣管，進(jìn)氣管通過焊接連接有第一法蘭，端蓋內(nèi)側(cè)壁上下對(duì)稱焊接有支撐板，支撐板右端設(shè)有壓板，罩殼內(nèi)側(cè)設(shè)有擋板，左側(cè)壓板與擋板之間設(shè)有第一氮?dú)膺^濾濾芯，右側(cè)壓板與擋板之間設(shè)有第二氮?dú)膺^濾濾芯，罩殼中部上側(cè)外壁上焊接有出氣管，端蓋右端外側(cè)壁上焊接有第二法蘭，罩殼兩端外側(cè)壁上設(shè)有第三法蘭，第二法蘭與第三法蘭之間通過螺栓連接有墊板；總的，本實(shí)用新型具有節(jié)省成本的優(yōu)點(diǎn)。

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種氮封水箱，具體涉及一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅用氮封水箱。

背景技術(shù)

采用硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅，由于空氣中含有二氧化碳、細(xì)菌、塵埃等雜質(zhì)，而超純水是純的溶劑，對(duì)這些雜質(zhì)的溶解能力很強(qiáng)，所以一旦超純水與空氣接觸，就會(huì)使其電阻率迅速下降，為了保障超純水的質(zhì)量，采用氮封水箱，使水體不與空氣的接觸；在多晶硅生產(chǎn)過程中，水質(zhì)電導(dǎo)率指標(biāo)的波動(dòng)對(duì)對(duì)工藝系統(tǒng)生產(chǎn)影響較大，目前的氮封水箱，由于過濾的物質(zhì)不一樣，其對(duì)原始氮?dú)庖约暗馑渑懦龅牡獨(dú)膺M(jìn)行過濾為單獨(dú)處理，使用成本較高；因此，為解決上述問題，需要一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅用氮封水箱。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的主要目的在于提供一種節(jié)省成本的硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅用氮封水箱。

為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供一種硅烷法生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅用氮封水箱，包括氮封水箱以及與所述氮封水箱通過管道連接的氮?dú)膺^濾裝置，所述氮?dú)膺^濾裝置包括支腿，所述支腿上端焊接有罩殼，所述罩殼左右兩端通過螺栓對(duì)稱連接有結(jié)構(gòu)相同的端蓋組合，所述端蓋組合包括端蓋，所述端蓋一端焊接有進(jìn)氣管，所述進(jìn)氣管通過焊接連接有第一法蘭，所述端蓋內(nèi)側(cè)壁上下對(duì)稱焊接有支撐板，所述支撐板右端設(shè)有壓板，所述罩殼內(nèi)側(cè)設(shè)有擋板，左側(cè)所述壓板與所述擋板之間設(shè)有第一氮?dú)膺^濾濾芯，右側(cè)所述壓板與所述擋板之間設(shè)有第二氮?dú)膺^濾濾芯，所述罩殼中部上側(cè)外壁上焊接有出氣管，所述端蓋右端外側(cè)壁上焊接有第二法蘭，所述罩殼兩端外側(cè)壁上設(shè)有第三法蘭，所述第二法蘭與所述第三法蘭之間通過螺栓連接有墊板。

所述罩殼采用不銹鋼材料制成。

所述壓板采用不銹鋼材料制成。

所述墊板采用優(yōu)力膠材質(zhì)制成。

所述罩殼與所述擋板之間焊接有加強(qiáng)板。

所述第一氮?dú)膺^濾濾芯采用不銹鋼過濾網(wǎng)。

所述第二氮?dú)膺^濾濾芯采用活性炭過濾網(wǎng)。

本實(shí)用新型的有益效果在于：本實(shí)用新型設(shè)置的兩個(gè)進(jìn)氣管分別為原始氮?dú)膺M(jìn)氣以及氮封水箱排放氮?dú)膺M(jìn)氣；第一氮?dú)膺^濾濾芯以及第二氮?dú)膺^濾濾芯分別對(duì)不同進(jìn)氣管的氮?dú)膺M(jìn)行過濾，從同一出氣管出氣，將來(lái)源不同的氮?dú)饨Y(jié)合到一個(gè)系統(tǒng)中，大大節(jié)省了使用成本；總的，本實(shí)用新型具有節(jié)省成本的優(yōu)點(diǎn)。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2是本實(shí)用新型氮?dú)膺^濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3是本實(shí)用新型氮?dú)膺^濾裝置的右視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖4是本實(shí)用新型氮?dú)膺^濾裝置的剖視結(jié)構(gòu)示意圖。

圖5是本實(shí)用新型加強(qiáng)板的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：100、氮封水箱 200、氮?dú)膺^濾裝置 1、支腿 2、罩殼 3、端蓋 4、進(jìn)氣管5、第一法蘭 6、支撐板 7、壓板 8、擋板 9、第一氮?dú)膺^濾濾芯 10、出氣管 11、第二法蘭 12、第三法蘭 13、墊板 14、加強(qiáng)板 15、第二氮?dú)膺^濾濾芯。

具體實(shí)施方式