[實用新型]一種硅烷法生產電子級多晶硅用氮封水箱

有效

• 申請號: 201821851146.7
• 申請日: 2018-11-12
• 公開（公告）號: CN209366987U
• 公開（公告）日: 2019-09-10
• 發明（設計）人: 李金生;蔣星光;程小會
• 申請（專利權）人: 河南硅烷科技發展股份有限公司
• 主分類號: B65D90/14
• 分類號: B65D90/14;B65D90/00;B65D90/44;C01B33/027
• 代理公司: 許昌豫創知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 41140
• 代理人: 李海帆

1.一種硅烷法生產電子級多晶硅用氮封水箱，包括氮封水箱（100）以及與所述氮封水箱（100）通過管道連接的氮氣過濾裝置（200），其特征在于：所述氮氣過濾裝置（200）包括支腿（1），所述支腿（1）上端焊接有罩殼（2），所述罩殼（2）左右兩端通過螺栓對稱連接有結構相同的端蓋組合，所述端蓋組合包括端蓋（3），所述端蓋（3）一端焊接有進氣管（4），所述進氣管（4）通過焊接連接有第一法蘭（5），所述端蓋（3）內側壁上下對稱焊接有支撐板（6），所述支撐板（6）右端設有壓板（7），所述罩殼（2）內側設有擋板（8），左側所述壓板（7）與所述擋板（8）之間設有第一氮氣過濾濾芯（9），右側所述壓板（7）與所述擋板（8）之間設有第二氮氣過濾濾芯（15），所述罩殼（2）中部上側外壁上焊接有出氣管（10），所述端蓋（3）右端外側壁上焊接有第二法蘭（11），所述罩殼（2）兩端外側壁上設有第三法蘭（12），所述第二法蘭（11）與所述第三法蘭（12）之間通過螺栓連接有墊板（13）。

2.根據權利要求1所述的一種硅烷法生產電子級多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述罩殼（2）采用不銹鋼材料制成。

3.根據權利要求1所述的一種硅烷法生產電子級多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述壓板（7）采用不銹鋼材料制成。

4.根據權利要求1所述的一種硅烷法生產電子級多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述墊板（13）采用優力膠材質制成。

5.根據權利要求1所述的一種硅烷法生產電子級多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述罩殼（2）與所述擋板（8）之間焊接有加強板（14）。

6.根據權利要求1所述的一種硅烷法生產電子級多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述第一氮氣過濾濾芯（9）采用不銹鋼過濾網。

7.根據權利要求1所述的一種硅烷法生產電子級多晶硅用氮封水箱，其特征在于：所述第二氮氣過濾濾芯（15）采用活性炭過濾網。