[實(shí)用新型]利用CVD方法生長(zhǎng)石墨烯薄膜的載具有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821846250.7 | 申請(qǐng)日： | 2018-11-09 |
| 公開(kāi)（公告）號(hào)： | CN209242684U | 公開(kāi)（公告）日： | 2019-08-13 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 劉忠范;彭海琳;孫祿釗;張金燦;賈開(kāi)誠(chéng);劉曉婷;李楊立志;林志威;余屹 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人： | 北京石墨烯研究院;北京大學(xué) |
| 主分類(lèi)號(hào)： | C01B32/186 | 分類(lèi)號(hào)： | C01B32/186 |
| 代理公司： | 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438 | 代理人： | 袁禮君;闞梓瑄 |
| 地址： | 100095 北京市海淀區(qū)蘇家*** | 國(guó)省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 矩形托板 矩形底板 支撐體 載具 底座 生長(zhǎng) 石墨烯薄膜 石墨烯 襯底 本實(shí)用新型 上表面 石英管 隔開(kāi) 承載 容納 | ||
1.一種利用CVD方法生長(zhǎng)石墨烯薄膜的載具，用于放置在CVD設(shè)備的石英管內(nèi)，其特征在于，包括：
底座；
矩形底板，水平地設(shè)置在所述底座上方，且固定連接于所述底座；
多個(gè)矩形托板，用于承載石墨烯生長(zhǎng)襯底，每一所述矩形托板上表面的四周設(shè)置有多個(gè)支撐體，所述石墨烯生長(zhǎng)襯底容納于多個(gè)所述支撐體圍成的空間，多個(gè)所述矩形托板可層疊地放置在所述矩形底板上，相鄰兩個(gè)所述矩形托板之間用所述支撐體隔開(kāi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具，其特征在于，所述載具還包括垂直設(shè)置的四根限位柱，四根所述限位柱分別連接于所述矩形底板的四個(gè)角；
每一所述矩形托板的四個(gè)角開(kāi)設(shè)有四個(gè)缺口，當(dāng)多個(gè)所述矩形托板放置在所述矩形底板上時(shí)，四根所述限位柱容納于四個(gè)所述缺口。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的載具，其特征在于，四根所述限位柱的截面呈圓形或矩形。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的載具，其特征在于，四根所述限位柱可拆卸地連接于所述矩形底板。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具，其特征在于，每一所述矩形托板上相對(duì)兩個(gè)邊上的所述支撐體對(duì)稱(chēng)設(shè)置，且每個(gè)邊上的多個(gè)所述支撐體等間距設(shè)置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具，其特征在于，所述底座下端部的弧度與所述石英管的內(nèi)表面的弧度相匹配。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的載具，其特征在于，所述底座、所述矩形底板以及所述矩形托板為鏤空結(jié)構(gòu)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的載具，其特征在于，所述鏤空結(jié)構(gòu)為通孔或盲孔。
9.根據(jù)權(quán)利要求1-8任一項(xiàng)所述的載具，其特征在于，所述支撐體的高度為1mm-10mm。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的載具，其特征在于，所述支撐體的高度為2mm-5mm。
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