[實用新型]一種用于陶瓷盤清洗機的機械手系統

有效

• 申請號: 201821836036.3
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN209289264U
• 公開（公告）日: 2019-08-23
• 發明（設計）人: 涂瑾;曹建偉;朱亮;盧嘉彬;馬旭;周鋒;劉文濤;劉小琴;鄭猛
• 申請（專利權）人: 浙江晶盛機電股份有限公司
• 主分類號: B25J9/00
• 分類號: B25J9/00;B25J9/12;B25J9/10
• 代理公司: 杭州中成專利事務所有限公司 33212
• 代理人: 周世駿

本實用新型涉及半導體晶圓拋光領域，具體涉及到一種用于陶瓷盤清洗機的機械手系統。包括機架與導軌；導軌有兩條且水平安裝在機架側部；機械手爪安裝板兩端通過滑塊與兩導軌相連，機械手爪安裝板至少有四塊且通過一長螺桿串接；機械手爪安裝板上設有齒輪齒條傳動機構，齒條安裝在機架上，齒輪安裝在機械手爪安裝板下端側部并與齒條嚙合；齒輪與水平驅動減速機相連，直線模組沿豎向設于機械手爪安裝板上；直線模組與直線模組驅動電機相連；直線模組滑動件上設有機械手爪安裝座；機械手爪設于機械手爪安裝座上。本實用新型巧妙地實現了和夾持式機械手同樣的功能動作，且減少了一組動力裝置；相比于夾持式機械手，故障率與成本更低。

技術領域

本實用新型涉及半導體晶圓拋光領域，具體涉及到一種用于陶瓷盤清洗機的機械手系統。

背景技術

在半導體晶圓加工的過程中有一道拋光的工序，晶圓經過拋光之后會大幅度提升其表面光潔度和表面質量。其中有一種拋光的工藝就是利用粘接劑將晶圓粘貼在陶瓷載盤上來實現的；為了實現陶瓷載盤的循環利用，必須想方法清洗掉陶瓷載盤上的粘接劑。為了使陶瓷載盤的清洗實現自動化，有必要提供一種自動化的陶瓷盤清洗機使陶瓷盤的清洗問題得以解決。

目前的陶瓷盤清洗機對于陶瓷盤的搬運方式一般有兩種，一是人工搬運，費時費力效率低且存在危險性；二是使用夾持式機械手,缺點是夾持過程故障率高。

實用新型內容

本實用新型要解決的技術問題是，克服現有技術中的不足，提供一種用于陶瓷盤清洗機的機械手系統。

為解決技術問題，本實用新型的解決方案是：

提供一種用于陶瓷盤清洗機的機械手系統，包括機架、導軌、機械手組件與直線模組組件；

導軌為直線導軌，有兩條互相平行且水平安裝在機架側部；

機械手組件包括機械手爪安裝板與機械手爪；機械手爪安裝板兩端通過滑塊與兩導軌相連，機械手爪安裝板至少有四塊且通過一長螺桿串接；機械手爪安裝板上設有齒輪齒條傳動機構，齒輪安裝在機械手爪安裝板下端側部，齒條安裝在機架上，并與齒輪嚙合；齒輪與水平驅動減速機相連，水平驅動減速機連接水平驅動電機；

直線模組組件包括直線模組與直線模組驅動電機；直線模組沿豎向設于機械手爪安裝板上；直線模組與直線模組驅動電機相連；最后端的直線模組與直線模組驅動電機間還設有豎直驅動減速機；直線模組滑動件上設有機械手爪安裝座；機械手爪設于機械手爪安裝座上。

作為一種改進，機械手爪端部安裝有陶瓷盤托塊。

作為一種改進，水平驅動減速機為行星減速機。

作為一種改進，最前端的械手爪安裝板還通過氣缸連接一機械手爪安裝板，該機械手爪安裝板通過滑塊設于導軌上；且該機械手爪安裝板上設有直線模塊組件與機械手爪，且裝配方式與其余的機械手爪安裝板相同，用于滿足多工位的要求。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果為：

本實用新型巧妙地實現了和夾持式機械手同樣的功能動作，且減少了一組動力裝置。相比于夾持式機械手，故障率更低、成本更低。

附圖說明

圖1是本實用新型的主視圖。

圖2是本實用新型的左視圖。

附圖標記：1-第一機械手爪安裝板；2-機械手爪；3-直線模組驅動電機；4-機械手爪安裝座；5-氣缸；6-直線模組；7-第二機械手爪安裝板；8-長螺桿；9-第三機械手爪安裝板；10-行星減速機；11-齒輪；12-水平驅動電機；13-第四機械手爪安裝板；14-齒條； 15-豎直驅動減速機；16-第五機械手爪安裝板；17-導軌；18-陶瓷盤托塊。

具體實施方式