[實用新型]傳送不同污染程度硅片的導片機

有效

• 申請號: 201821832634.3
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN209216929U
• 公開（公告）日: 2019-08-06
• 發明（設計）人: 顧丹霞
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 欒美潔

1.一種傳送不同污染程度硅片的導片機，所述不同污染程度的硅片裝在相對應的晶圓盒中，每個晶圓盒具有一個ID信息，所述ID信息包括晶圓盒的污染類型，其特征在于，所述導片機包括控制單元、晶圓盒識別單元、多個硅片傳送手臂，所述晶圓盒識別單元和硅片傳送手臂均與控制單元電性連接，所述晶圓盒識別單元通過晶圓盒的ID信息判斷晶圓盒的污染程度并傳輸至控制單元中，每個硅片傳送手臂可滑動地設于一個傳送手臂導軌上。

2.根據權利要求1所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述導片機還設有清洗單元，包括清洗單元主體、酒精噴嘴和氮氣噴嘴，所述清洗單元主體設有供液管道和供氣管道，所述酒精噴嘴通過供液管道與供液裝置相連，所述氮氣噴嘴通過供氣管道與供氣裝置相連。

3.根據權利要求1或2所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述硅片傳送手臂包括FE硅片傳送手臂、HK硅片傳送手臂、BE硅片傳送手臂和CU硅片傳送手臂。

4.根據權利要求3所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述FE硅片傳送手臂、HK硅片傳送手臂、BE硅片傳送手臂和CU硅片傳送手臂對應的各傳送手臂導軌并列排布。

5.根據權利要求4所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述FE硅片傳送手臂、HK硅片傳送手臂、BE硅片傳送手臂和CU硅片傳送手臂位于相同高度；每個硅片傳送手臂的每一側都設有酒精噴嘴和氮氣噴嘴。

6.根據權利要求3所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述FE硅片傳送手臂、HK硅片傳送手臂、BE硅片傳送手臂和CU硅片傳送手臂對應的各傳送手臂導軌嵌套排布。

7.根據權利要求6所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述FE硅片傳送手臂、HK硅片傳送手臂、BE硅片傳送手臂和CU硅片傳送手臂位于相同高度；每個硅片傳送手臂的每一側都設有酒精噴嘴和氮氣噴嘴。

8.根據權利要求6所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述FE硅片傳送手臂、HK硅片傳送手臂、BE硅片傳送手臂和CU硅片傳送手臂沿豎直方向分布；酒精噴嘴和氮氣噴嘴設于最上方的硅片傳送手臂的每一側。

9.根據權利要求3所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，每個硅片傳送手臂都包括手臂部、滑動部和驅動裝置，所述驅動裝置與控制單元電性連接且與滑動部連接，所述滑動部的上端與手臂部連接，滑動部的下端與傳送手臂導軌滑動連接，所述滑動部在驅動裝置的帶動下沿傳送手臂導軌往復運動。

10.根據權利要求9所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述驅動裝置為電機或氣缸。

11.根據權利要求3所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述硅片傳送手臂和傳送手臂導軌中的一個安裝有電磁鐵，另一個安裝有與電磁鐵配合的電磁鐵或線圈，所述電磁鐵和線圈均與控制單元電性連接。

12.根據權利要求1所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述晶圓盒的ID信息為條形碼或二維碼，所述晶圓盒識別單元為讀碼器。

13.根據權利要求2所述的傳送不同污染程度硅片的導片機，其特征在于，所述供液管道和供氣管道上均設有閘閥，所述閘閥由控制單元控制。