[實用新型]固定晶圓治具

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821832531.7
• 申請日: 2018-11-08
• 公開（公告）號: CN209148525U
• 公開（公告）日: 2019-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 楊江;張洪波;羅鈔文;諸晨杰;孫慶永;莊峰;王麗君;李延慶
• 申請（專利權(quán)）人: 紫光宏茂微電子（上海）有限公司
• 主分類號: G01N21/01
• 分類號: G01N21/01;G01N21/88
• 代理公司: 上海市嘉華律師事務(wù)所 31285
• 代理人: 黃琮;傅云

1.一種固定晶圓治具，其特征在于，包括：基板、圓形海綿墊、第一載臺、多根第一支撐柱、第二載臺和多根第二支撐柱；

所述第一載臺呈圓環(huán)形并具有第一圓形開口，所述第一載臺通過多根所述第一支撐柱架設(shè)在所述基板的上方；

所述第二載臺呈圓環(huán)形并具有第二圓形開口，所述第二載臺通過多根所述第二支撐柱架設(shè)在所述基板的上方，且所述第二載臺位于所述第一載臺的上方；

所述圓形海綿墊設(shè)置在所述基板的上表面上，位于所述第一圓形開口的下方，所述圓形海綿墊的面積大于所述第一圓形開口的面積；

所述第二圓形開口的直徑大于所述第一圓形開口的直徑，且所述第二圓形開口在所述圓形海綿墊上的投影覆蓋所述第一圓形開口在所述圓形海綿墊上的投影。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定晶圓治具，其特征在于，所述第一載臺水平設(shè)置，通過多根所述第一支撐柱固定在所述基板的上方；

所述第二載臺與所述第一載臺相互平行設(shè)置，通過多根所述第二支撐柱固定在所述基板的上方；

且所述第一載臺與所述第二載臺的軸心線重合。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的固定晶圓治具，其特征在于，多根所述第一支撐柱的頂端凸出所述第一載臺的頂面；

多根所述第二支撐柱的頂端凸出所述第二載臺的頂面。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的固定晶圓治具，其特征在于，還包括：多個第一保護(hù)套和多個第二保護(hù)套；

多個所述第一保護(hù)套分別套接在多根所述第一支撐柱的頂部；

多個所述第二保護(hù)套分別套接在多根所述第二支撐柱的頂部。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定晶圓治具，其特征在于，所述第一圓形開口的相對的兩側(cè)設(shè)有第一矩形缺口；

所述第二圓形開口的相對的兩側(cè)設(shè)有第二矩形缺口。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定晶圓治具，其特征在于，所述基板包括：基板本體、多根連接筋和圓環(huán)部；

所述基板本體的中部設(shè)有通孔，所述圓環(huán)部位于所述通孔內(nèi)，所述圓環(huán)部與所述基板本體通過多根所述連接筋連接，在所述基板中部形成多個鏤空區(qū)域。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的固定晶圓治具，其特征在于，多根所述連接筋的內(nèi)側(cè)表面低于外側(cè)表面，在所述連接筋上形成臺階，所述圓形海綿墊卡接在所述臺階處。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定晶圓治具，其特征在于，所述基板的相對的兩側(cè)設(shè)有把手。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定晶圓治具，其特征在于，所述基板的底面設(shè)有防滑墊。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的固定晶圓治具，其特征在于，還包括：多個第一調(diào)節(jié)螺母和多個第二調(diào)節(jié)螺母；

多根所述第一支撐柱的上端設(shè)有外螺紋，多個所述第一調(diào)節(jié)螺母分別嚙合在多根所述第一支撐柱上；

多根所述第二支撐柱的上端設(shè)有外螺紋，多個所述第二調(diào)節(jié)螺母分別嚙合在多根所述第二支撐柱上；

所述第一載臺設(shè)有多個第一通孔，所述第一通孔的孔徑大于所述第一支撐柱的直徑，多根所述第一支撐柱分別穿過多個所述第一通孔，使所述第一載臺擱置在所述第一調(diào)節(jié)螺母上；

所述第二載臺設(shè)有多個第二通孔，所述第二通孔的孔徑大于所述第二支撐柱的直徑，多根所述第二支撐柱分別穿過多個所述第二通孔，使所述第二載臺擱置在所述第二調(diào)節(jié)螺母上。