[實(shí)用新型]一種芯片自動(dòng)壓蓋設(shè)備的壓合模組有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201821830623.1 | 申請(qǐng)日: | 2018-11-06 |
| 公開(公告)號(hào): | CN209119052U | 公開(公告)日: | 2019-07-16 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 林宜龍;劉飛;黃水清;吳松;林清嵐;占勇;官聲文 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人: | 深圳格蘭達(dá)智能裝備股份有限公司 |
| 主分類號(hào): | H01L21/67 | 分類號(hào): | H01L21/67 |
| 代理公司: | 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 44202 | 代理人: | 顏希文;黃華蓮 |
| 地址: | 518109 廣東省深圳市坪*** | 國(guó)省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 下壓氣缸 下壓組件 芯片 下壓臂 壓合模 墊板 兩組 下壓 工作平臺(tái) 下壓機(jī)構(gòu) 壓蓋設(shè)備 安裝板 壓蓋 安裝板固定 本實(shí)用新型 技術(shù)支持 相對(duì)設(shè)置 壓合位置 活塞桿 完成品 自動(dòng)地 頂面 合板 漏膠 上蓋 豎直 壓合 有壓 合格率 自動(dòng)化 | ||
1.一種芯片自動(dòng)壓蓋設(shè)備的壓合模組,其特征在于,包括下壓機(jī)構(gòu),所述芯片自動(dòng)壓蓋設(shè)備設(shè)有工作平臺(tái),所述下壓機(jī)構(gòu)設(shè)于所述工作平臺(tái)上;
所述下壓機(jī)構(gòu)包括兩組單邊下壓組件,兩組所述單邊下壓組件相對(duì)設(shè)置,所述單邊下壓組件包括下壓墊板、下壓氣缸安裝板、下壓氣缸以及下壓臂,所述下壓墊板設(shè)于所述工作平臺(tái)的頂面,所述下壓氣缸安裝板固定于所述下壓墊板上,所述下壓氣缸豎直地固定于所述下壓氣缸安裝板的一側(cè),所述下壓臂設(shè)于所述下壓氣缸的上方并與所述下壓氣缸的活塞桿相連接,兩組所述單邊下壓組件的下壓臂之間連接有壓合板。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片自動(dòng)壓蓋設(shè)備的壓合模組,其特征在于,兩組所述單邊下壓組件之間還設(shè)有同步連桿,所述同步連桿的兩端分別通過支撐連接塊與所述下壓墊板相連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的芯片自動(dòng)壓蓋設(shè)備的壓合模組,其特征在于,還包括偏移機(jī)構(gòu),所述偏移機(jī)構(gòu)包括兩條偏移導(dǎo)軌和兩個(gè)偏移座,兩條所述偏移導(dǎo)軌并排地固定于所述工作平臺(tái)的頂面,兩個(gè)所述偏移座分別與兩條所述偏移導(dǎo)軌滑動(dòng)連接,兩組所述單邊下壓組件的下壓氣缸安裝板分別固定于兩個(gè)所述偏移座的頂面。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的芯片自動(dòng)壓蓋設(shè)備的壓合模組,其特征在于,所述偏移機(jī)構(gòu)還包括偏移氣缸,所述偏移氣缸固定于所述工作平臺(tái)的頂面,將兩條所述偏移導(dǎo)軌分別記為第一偏移導(dǎo)軌和第二偏移導(dǎo)軌,相應(yīng)的,將兩個(gè)所述偏移座分別記為第一偏移座和第二偏移座,所述偏移氣缸的活塞桿與所述第一偏移座相連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的芯片自動(dòng)壓蓋設(shè)備的壓合模組,其特征在于,所述第一偏移導(dǎo)軌的一端設(shè)有緩沖座,所述緩沖座上設(shè)有緩沖器,所述第一偏移導(dǎo)軌的另一端以及所述第二偏移導(dǎo)軌的兩端設(shè)有偏移限位塊。
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H01L 半導(dǎo)體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備
H01L21-02 .半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理
H01L21-64 .非專門適用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各組的單個(gè)器件所使用的除半導(dǎo)體器件之外的固體器件或其部件的制造或處理
H01L21-66 .在制造或處理過程中的測(cè)試或測(cè)量
H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導(dǎo)體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導(dǎo)體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
H01L21-70 .由在一共用基片內(nèi)或其上形成的多個(gè)固態(tài)組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





