[實用新型]一種超薄石英晶片鍍膜治具框

有效

• 申請號: 201821829286.4
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN209555361U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 辜達元;郭正江;周萬華
• 申請（專利權）人: 杭州鴻星電子有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/04
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

本實用新型公開了一種超薄石英晶片鍍膜新型治具框，包括：固定基板，所述上基板和所述下基板形狀相同，所述上基板和所述下基板上分別對應設置有多個晶片工位槽、多個磁鐵工位槽，左右各一個第一定位孔和兩矩形窗，所述第一電極板上設置有多個第一工位槽，所述第二電極板上設置有多個第二工位槽，每個所述第二工位槽包括一凸臺，所述第二電極板上的所述第二工位槽與所述上基板和所述下基板上的所述工位槽一一對應。本實用新型利用其凸出部分深入Spacer工位槽里，接觸石英晶片表面，從而增加晶片夾持力，有效避免了晶片晃動移位現象。至此解決了因Spacer過厚，晶片裝載后出現的晶片晃動，晶片鍍膜后出現的電極偏位，虛影等問題，且可有效防止治具翹曲變形，且操作簡單的電極鍍膜治具。

技術領域

本實用新型涉及石英晶片鍍膜技術領域，尤其涉及一種超薄石英晶片鍍膜治具框。

背景技術

全球化將進入一個新紀元，一個由數據和連接傳遞信息、思想和創新的全新時代，5G將應時而生。大數據、海量連接和場景體驗，滿足未來更廣泛的數據和連接業務需要，提升用戶體驗。通信網絡提速也迫在眉睫，高質量高頻率的基準時鐘一直在研發中。

石英晶體器件的頻率與石英晶片的厚度成反比，比如100MHz的頻率，基本波石英晶片的厚度約16um，而人體的頭發絲的直徑約80um，薄到頭發絲的1/5，可以想象加工制造此類高頻的石英晶體的難度。因此,市場上高于 100MHz以上石英頻率器件，幾乎都采用基本波的3次高諧波來實現，石英晶片的厚度可提高3倍便于生產加工，但是在對低抖動低噪音高穩定性的應用方向上，諧波產品明顯次于基本波產品；另外基本波產品具有較大的牽引力，一直以來具有頻率調諧功能的壓控振蕩器VCXO都選擇基本波產品。

故開發出高于100MHz基本波產品具有良好的前景，根據以往經驗，石英晶片電極鍍膜治具框的設計直接決定該產品研發的成敗。故我司先設計這種超薄約10um石英晶片新型鍍膜治具框。

以往的成套石英晶體鍍膜治具框，包含1片晶片固定框Spacer，2片電極MASK以及兩片夾具蓋板Holder，其中晶片固定框Spacer的厚度是根據石英晶片的厚度設計的，以10um厚度的石英晶片為例，最直接的方案：就是制造10um厚度的固定框Spacer，但是這樣超薄的治具很容易翹曲、彎折、變形，無論制造加工還是后續使用操作性不強。

之前我司80MHz基本波石英晶體研發，針對石英晶片的厚度約20um，為增強治具的可制造性和使用可操作性，我司采用疊加治具厚度的思路，將 Spacer和MASK設計在一塊40um基板正反面上，通過雙面半蝕刻技術達到 Spacer層和MASK層各20um的厚度效果。若開發150MHz基本波壓控振蕩器，約10um厚度的石英晶片，也采用這種設計需要考量其合理性，計算下來要選擇20um基板，超過目前使用的Spacer治具的極限厚度為40um，因為過薄，故這種設計思路也不合理。

因此就不得不重新考慮鍍膜治具框的設計。

發明內容

有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種超薄石英晶片鍍膜新型治具框。

為了達成上述目的，本實用新型的解決方案是：

一種超薄石英晶片鍍膜治具框，包括：

固定基板，所述固定基板包括上基板和下基板，所述上基板和所述下基板形狀相同，所述上基板和所述下基板上分別對應設置有多個晶片工位槽、多個磁鐵工位槽，左右各一個第一定位孔和兩矩形窗；

第一電極板，所述第一電極板上設置有多個第一工位槽，所述第一電極板上的所述第一工位槽與所述上基板和所述下基板上的多個所述晶片工位槽一一對應，所述第一電極板設置在所述下基板的上部；

第二電極板，所述第二電極板上設置有多個第二工位槽，每個所述第二工位槽設有凸臺，所述第二電極板上的所述第二工位槽與所述上基板和所述下基板上的多個所述晶片工位槽一一對應，所述第二電極板設置在所述上基板的下面；