[實用新型]一種超薄石英晶片鍍膜治具框

有效

• 申請號: 201821829286.4
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN209555361U
• 公開（公告）日: 2019-10-29
• 發明（設計）人: 辜達元;郭正江;周萬華
• 申請（專利權）人: 杭州鴻星電子有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/04
• 代理公司: 上海申新律師事務所 31272
• 代理人: 俞滌炯

1.一種超薄石英晶片鍍膜治具框，其特征在于，包括：

固定基板，所述固定基板包括上基板和下基板，所述上基板和所述下基板形狀相同，所述上基板和所述下基板上分別對應設置有多個晶片工位槽、多個磁鐵工位槽，左右各一個第一定位孔和兩矩形窗；

第一電極板，所述第一電極板上設置有多個第一工位槽，所述第一電極板上的所述第一工位槽與所述上基板和所述下基板上的多個所述晶片工位槽一一對應，所述第一電極板設置在所述下基板的上部；

第二電極板，所述第二電極板上設置有多個第二工位槽，每個所述第二工位槽設有凸臺，所述第二電極板上的所述第二工位槽與所述上基板和所述下基板上的多個所述晶片工位槽一一對應，所述第二電極板設置在所述上基板的下面；

中間固定板，所述中間固定板設置有多個第三工位槽，多個所述第三工位槽分別與多個所述晶片工位槽一一對應，所述中間固定板設置在所述第一電極板和所述第二電極板之間；

所述上基板、所述第一電極板、所述中間固定板、所述第二電極板和所述下基板依次自上而下設置。

2.根據權利要求1所述的一種超薄石英晶片鍍膜治具框，其特征在于，多個所述磁鐵工位槽分別設置在所述上基板和所述下基板四周并以所述晶片工位槽的幾何中心對稱分布。

3.根據權利要求1所述的一種超薄石英晶片鍍膜治具框，其特征在于，所述第一電極板、所述中間固定板、所述第二電極板相對于所述上基板和所述下基板的多個磁鐵工位槽的位置分別貫穿設置有多個相應的磁鐵工位槽孔。

4.根據權利要求1所述的一種超薄石英晶片鍍膜治具框，其特征在于，還包括兩個定位銷，兩個所述定位銷分別活動設置在所述下基板上相應的兩個所述第一定位孔中，兩個所述定位銷分別穿過所述第一電極板、所述第二電極板和所述上基板上設置的與所述定位銷相匹配的第一定位孔。

5.根據權利要求1所述的一種超薄石英晶片鍍膜治具框，其特征在于，還包括兩個第二定位孔，兩個所述第二定位孔分別貫穿設置在所述上基板、所述下基板、所述第一電極板和所述第二電極板上下側的中部。

6.根據權利要求1所述的一種超薄石英晶片鍍膜治具框，其特征在于，還包括多個磁鐵，多個所述磁鐵分別安裝在所述上基板和所述下基上設置的與所述磁鐵相匹配多個磁鐵工位槽中。

7.根據權利要求1所述的一種超薄石英晶片鍍膜治具框，其特征在于，所述第二工位槽上的所述凸臺包括正面凸臺和反面凸臺。

8.根據權利要求1所述的一種超薄石英晶片鍍膜治具框，其特征在于，兩個所述矩形窗分別設置在所述上基板和所述下基板的一側，所述上基板上的所述矩形窗與所述下基板上的所述矩形窗相對應。