[實用新型]一種石英晶片鍍膜治具一體框

有效

• 申請號: 201821828513.1
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN209702849U
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發明（設計）人: 辜達元;郭正江;周萬華
• 申請（專利權）人: 杭州鴻星電子有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/04
• 代理公司: 31272 上海申新律師事務所
• 代理人: 俞滌炯<國際申請>=<國際公布>=<進入

本實用新型公開了一種石英晶片鍍膜治具一體框，包括：上固定基板，下固定基板，MASK固定框，MASK/SPACER固定框，所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一體框設置在所述上固定基板和所述下固定基板的中間。本實用新型將MASK+Spacer整體設計，無層疊無縫隙，從而避免了因組裝造成的晶片偏位現象，各層磁鐵位均勻分布在治具板四周和以晶片工位為幾何中心對稱的周圍位置上，使得每個工位周圍的所輻射的磁力相當，最終使得安裝的石英晶片位置準確穩定且不會晃動，所述石英晶片鍍膜治具框可解決特超薄石英晶片鍍膜，也可推廣應用于較厚的石英晶片鍍膜治具框的設計，可有效防止治具翹曲變形電極鍍膜治具。

技術領域

本實用新型涉及鍍膜工裝夾具技術領域，尤其涉及一種石英晶片鍍膜治具一體框。

背景技術

全球化將進入一個新紀元，一個由數據和連接傳遞信息、思想和創新的全新時代，5G將應時而生。大數據、海量連接和場景體驗，滿足未來更廣泛的數據和連接業務需要，提升用戶體驗。通信網絡提速也迫在眉睫，高質量高頻率的基準時鐘一直在研發中。

故開發出高頻率基本波產品具有良好的前景，但石英晶片的厚度與頻率成反比，比如80MHz的頻率，基本波石英晶片的厚度約20um，不足一張普通A4紙的1/5厚度，在研究這樣超薄石英晶片在石英晶體諧振器設計中，根據經驗，石英晶片電極鍍膜治具框的設計直接決定該產品研發的成與敗。

故我司先設計這種超薄約20um石英晶片新型鍍膜治具框。以往的成套石英晶體鍍膜治具框，包含1片晶片固定框Spacer，2片電極MASK以及兩片夾具蓋板Holder，其中晶片固定框Spacer的厚度是根據石英晶片的厚度設計的，以20um厚度的石英晶片為例，最直接的方案：就是制造20um厚度的固定框Spacer，但是這樣超薄的治具很容易翹曲、彎折、變形，無論制造加工還是后續使用操作性不強。

因此，開發一種石英晶片鍍膜治具一體框是所屬技術領域的工程技術人員亟待解決的問題。

實用新型內容

有鑒于此，為增強治具的可制造性和使用可操作性，采用疊加治具厚度的思路，將Spacer和MASK設計在一塊40um基板正反面上，通過雙面半蝕刻技術達到Spacer層和MASK層各20um的厚度效果，本實用新型的目的在于提供一種石英晶片鍍膜治具一體框。

為了達成上述目的，本實用新型的解決方案是：

一種石英晶片鍍膜治具一體框，包括：

上固定基板，所述上固定基板為矩形，所述上固定基板設有多個方形晶片工位槽、多個磁鐵工位槽、左右各一個第一定位孔和兩個矩形空白窗；

下固定基板，所述下固定基板與所述上固定基板形狀相同，所述下固定基板上對應設置有與所述上固定基板相同的多個所述方形晶片工位槽、多個所述磁鐵工位槽、兩個所述矩形空白窗、左右各一個所述第一定位孔和與兩個所述第一定位孔相匹配的銷釘；

MASK固定框，所述MASK固定框上對應所述晶片工位槽位置設置有多個MASK工位槽，所述MASK固定框位于所述下固定基板的下部；

MASK/Spacer一體固定框，所述MASK/SPACER框上對應所述晶片工位槽位置設置有多個MASK/SPACER工位槽，所述MASK/SPACER一體框設置在所述MASK固定框的下部；

所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一體框設置在所述上固定基板和所述下固定基板的中間。

優選地，所述磁鐵位槽均勻分布在所述上固定基板和所述下固定基板上的多個所述方形晶片工位槽為幾何中心對稱的周圍位置上。

優選地，所述上固定基板和所述下固定基板上的多個所述磁鐵工位槽分別貫穿所述上固定基板和所述下固定基板，每個所述磁鐵工位槽中分別固定設置有強力磁鐵。