[實用新型]一種石英晶片鍍膜治具一體框

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821828513.1
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN209702849U
• 公開（公告）日: 2019-11-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 辜達(dá)元;郭正江;周萬華
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州鴻星電子有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50;C23C14/04
• 代理公司: 31272 上海申新律師事務(wù)所
• 代理人: 俞滌炯<國際申請>=<國際公布>=<進(jìn)入

1.一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，包括：

上固定基板，所述上固定基板為矩形，所述上固定基板設(shè)有多個方形晶片工位槽、多個磁鐵工位槽、左右各一個第一定位孔和兩個矩形空白窗；

下固定基板，所述下固定基板與所述上固定基板形狀相同，所述下固定基板上對應(yīng)設(shè)置有與所述上固定基板相同的多個所述方形晶片工位槽、多個所述磁鐵工位槽、兩個所述矩形空白窗、左右各一個所述第一定位孔和與兩個所述第一定位孔相匹配的銷釘；

MASK固定框，所述MASK固定框上對應(yīng)所述方形晶片工位槽位置設(shè)置有多個MASK工位槽，所述MASK固定框位于所述下固定基板的下部；

MASK/Spacer一體固定框，所述MASK/SPACER框上對應(yīng)所述方形晶片工位槽位置設(shè)置有多個MASK/SPACER工位槽，所述MASK/SPACER一體框設(shè)置在所述MASK固定框的下部；

所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一體框設(shè)置在所述上固定基板和所述下固定基板的中間。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，所述磁鐵工位槽均勻分布在所述上固定基板和所述下固定基板上的多個所述方形晶片工位槽為幾何中心對稱的周圍位置上。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，所述上固定基板和所述下固定基板上的多個所述磁鐵工位槽分別貫穿所述上固定基板和所述下固定基板，每個所述磁鐵工位槽中分別固定設(shè)置有強力磁鐵。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，所述MASK/SPACER一體框和所述MASK固定框?qū)?yīng)多個所述磁鐵工位槽位置設(shè)置有多個鏤空方槽。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，還包括兩個第二定位孔，兩個所述第二定位孔分別設(shè)置在所述上固定基板和所述下固定基板的上下側(cè)中間位置。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，所述上固定基和所述下固定基板一側(cè)的兩個所述矩形空白窗并排設(shè)置并位于所述第一定位孔的兩側(cè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，兩個所述第一定位孔和兩個所述第二定位孔分別貫穿所述MASK固定框和所述MASK/SPACER一體框。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種石英晶片鍍膜治具一體框，其特征在于，所述上固定基板和所述下固定基板均為不銹鋼材料制做。