[實用新型]一種硅片自動插片設備

有效

• 申請號: 201821828510.8
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN209183523U
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發明（設計）人: 楊學新;齊風;周聰熠;張淳;戴超;譚永麟;孫晨光
• 申請（專利權）人: 天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 劉瑩

本實用新型提供了一種硅片自動插片設備，包括工作臺架、電缸、水槽、片籃、滑道和水路系統，所述電缸上部固設有片籃支架，所述片籃放置于片籃支架之上，所述滑道與片籃相鄰而設，靠近片籃的一側向下傾斜，在片籃支架上放置空片籃，啟動電缸，電缸上的活塞桿帶動片籃移動，至片籃的第一個片槽位置對準滑道，把晶圓片放置于滑道上，晶圓片沿滑道滑到片籃內，此時電缸帶動片籃下移一個片槽高度，繼續放入晶圓片，如此循環操作，待片籃裝滿后再放入新的片籃。本實用新型能夠將晶圓片自動沿滑道插入片籃中，采用自動化插片方法，降低人為插片誤差，縮短工作時間、減少人工參與、提高工作效率。

技術領域

本實用新型涉及半導體材料領域，特別是涉及一種硅片自動插片設備。

背景技術

在半導體材料領域，有一道工序是將半導體硅晶圓片插入片籃中，現有技術中，大多采用人為水中插籃，人為晶圓插籃容易出現誤操作、劃傷硅片的現象，且插籃效率低下，難以操作，隨著半導體材料領域對硅片質量要求越來越高，人工插片已難以滿足廠家的要求。

實用新型內容

有鑒于此，本實用新型旨在克服上述現有技術中存在的缺陷，提供一種硅片自動插片設備。

為達到上述目的，本實用新型的技術方案是這樣實現的：

一種硅片自動插片設備，包括工作臺架、電缸、水槽、片籃、滑道和水路系統，所述工作臺架的上部設有控制箱，下部設有儲物柜，控制箱與儲物柜之間通過背板固定連接，所述背板位于控制箱與儲物柜的同側，所述水路系統位于儲物柜之內，所述儲物柜之上圍設有工作臺；

所述水槽置于工作臺之內，水槽與背板之間留有空腔，所述電缸設于所述工作臺架與水槽之間的空腔內，其下部穿過并固定于儲物柜頂部，所述電缸包括外殼和活塞桿，所述活塞桿的一端插入外殼之內，另一端固定連接有片籃支架，所述片籃支架向下伸入水槽之中，與水槽內壁相依，其下部設有橫板，所述片籃放置于橫板之上；

所述滑道位于片籃遠離片籃支架的一側，由固設于水槽內壁的支撐結構支撐，所述滑道與片籃相鄰，鄰近片籃的一側向下傾斜，所述滑道上表面高于片籃內底面且與片籃的底面平行。

進一步地，所述電缸、片籃支架、片籃和滑道沿同一角度傾斜，所述滑道遠離片籃的一端高于水槽邊緣，另一端伸入水槽之內。

進一步地，所述支撐結構包括支撐板和支撐臺，支撐臺位于支撐板的上方，所述支撐臺的底部設有螺桿，所述支撐板上設有若干槽孔，所述螺桿從槽孔中穿過。

進一步地，兩個所述支撐臺之間設有內卡爪，兩個所述支撐臺的兩側設有外卡爪，內卡爪與外卡爪的下部均與支撐臺固定連接，所述內卡爪的內部設有上下貫通的螺紋孔，螺紋孔內旋有貫穿內卡爪的螺栓，所述外卡爪的上部垂直向外彎折，彎折部分上設有緊固螺栓。

進一步地，所述滑道設于支撐臺上方，呈傾斜狀，遠離片籃的一端高于水槽邊緣，另一端浸于水槽之內。

進一步地，所述滑道的兩側設有卡位板，所述卡位板遠離片籃一端的內表面為外擴斜面。

進一步地，所述滑道上設有若干螺紋孔，兩個所述卡位板通過螺栓與對應位置的螺紋孔相對靠近或遠離。

進一步地，所述滑道靠近片籃的一端設有限位框，所述限位框的頂部設有光纖傳感器。

進一步地，所述控制箱的底面設有光電傳感器，所述光電傳感器與片籃相對。

進一步地，所述水槽的底部與所述水路系統相連通，所述水路系統由若干水管組成，外接去離子水，通過上端溢流口向水槽內注入去離子水。

相對于現有技術，本實用新型的有益效果是：本實用新型所述的一種硅片自動插片設備，實現圓晶片沿軌道方向插入片籃中，有效地解決人工操作中劃傷硅片、插籃效率低下、難以操作等弊端，節約人力，節省時間，具有高效性、穩定性、易操作等優點。