[實用新型]一種硅片自動插片設備

有效

• 申請號: 201821828510.8
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN209183523U
• 公開（公告）日: 2019-07-30
• 發明（設計）人: 楊學新;齊風;周聰熠;張淳;戴超;譚永麟;孫晨光
• 申請（專利權）人: 天津中環領先材料技術有限公司
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677
• 代理公司: 天津濱海科緯知識產權代理有限公司 12211
• 代理人: 劉瑩

1.一種硅片自動插片設備，其特征在于：包括工作臺架(1)、電缸(2)、水槽(3)、片籃(4)、滑道(5)和水路系統(6)，所述工作臺架(1)的上部設有控制箱(11)，下部設有儲物柜(12)，控制箱(11)與儲物柜(12)之間通過背板(13)固定連接，所述背板(13)位于控制箱(11)與儲物柜(12)的同側，所述水路系統(6)位于儲物柜(12)之內，所述儲物柜(12)之上圍設有工作臺(7)；

所述水槽(3)置于工作臺(7)之內，水槽(3)與背板(13)之間留有空腔，所述電缸(2)設于所述工作臺架(1)與水槽(3)之間的空腔內，其下部穿過并固定于儲物柜(12)頂部，所述電缸(2)包括外殼(22)和活塞桿(21)，所述活塞桿(21)的一端插入外殼(22)之內，另一端固定連接有片籃支架(41)，所述片籃支架(41)向下伸入水槽(3)之中，與水槽(3)內壁相依，其下部設有橫板(411)，所述片籃(4)放置于橫板(411)之上；

所述滑道(5)位于片籃(4)遠離片籃支架(41)的一側，由固設于水槽(3)內壁的支撐結構支撐，所述滑道(5)與片籃(4)相鄰，鄰近片籃(4)的一側向下傾斜，所述滑道(5)上表面高于片籃(4)內底面且與片籃(4)的底面平行。

2.根據權利要求1所述的一種硅片自動插片設備，其特征在于：所述電缸(2)、片籃支架(41)、片籃(4)和滑道(5)沿同一角度傾斜，所述滑道(5)遠離片籃(4)的一端高于水槽(3)邊緣，另一端伸入水槽(3)之內。

3.根據權利要求1所述的一種硅片自動插片設備，其特征在于：所述支撐結構包括支撐板(31)和支撐臺(51)，支撐臺(51)位于支撐板(31)的上方，所述支撐臺(51)的底部設有螺桿(511)，所述支撐板(31)上設有若干槽孔(311)，所述螺桿(511)從槽孔(311)中穿過。

4.根據權利要求3所述的一種硅片自動插片設備，其特征在于：兩個所述支撐臺(51)之間設有內卡爪(515)，兩個所述支撐臺(51)的兩側設有外卡爪(512)，內卡爪(515)與外卡爪(512)的下部均與支撐臺(51)固定連接，所述內卡爪(515)的內部設有上下貫通的螺紋孔，螺紋孔內旋有貫穿內卡爪(515)的螺栓(514)，所述外卡爪(512)的上部垂直向外彎折，彎折部分上設有緊固螺栓(513)。

5.根據權利要求1所述的一種硅片自動插片設備，其特征在于：所述滑道(5)的兩側設有卡位板(52)，所述卡位板(52)遠離片籃(4)一端的內表面為外擴斜面。

6.根據權利要求5所述的一種硅片自動插片設備，其特征在于：所述滑道(5)上設有若干螺紋孔(521)，兩個所述卡位板(52)通過螺栓與對應位置的螺紋孔(521)相對靠近或遠離。

7.根據權利要求1所述的一種硅片自動插片設備，其特征在于：所述滑道(5)靠近片籃(4)的一端設有限位框(53)，所述限位框(53)的頂部設有光纖傳感器(531)。

8.根據權利要求7所述的一種硅片自動插片設備，其特征在于：所述控制箱(11)的底面設有光電傳感器(111)，所述光電傳感器(111)與片籃(4)相對。

9.根據權利要求1所述的一種硅片自動插片設備，其特征在于：所述水槽(3)的底部與所述水路系統(6)相連通，所述水路系統(6)由若干水管組成，外接去離子水，通過上端溢流口(61)向水槽(3)內注入去離子水。