[實用新型]一種基于DMD數(shù)字光刻頭的引擎支撐裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201821824322.8
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN209356845U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 盧振武;孫強;許文斌;藺春波;劉建卓;許家林;王鶴;徐佳
• 申請（專利權(quán)）人: 長春長光中天光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 長春吉大專利代理有限責(zé)任公司 22201
• 代理人: 劉世純

本實用新型公開了一種基于DMD數(shù)字光刻頭的引擎支撐裝置，包括：機體，其包括：支架、導(dǎo)軌、工作臺和機身；移動裝置，所述移動總成包括：第一電動缸，滑板、第二電動缸、第三電動缸；減震裝置，其設(shè)置在所述工作臺和所述機身之間，所述減震裝置包括：殼體、彈簧。本實用新型提供的一種基于DMD數(shù)字光刻頭的引擎支撐裝置結(jié)構(gòu)簡單，自動化程度高，散熱性好，使用壽命長，在工作的過程中隔振效果好，工作穩(wěn)定性強，工作效率高，能節(jié)省時間和人力。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及UVLDI系列DMD無掩模掃描式光刻機，尤其涉及一種基于DMD數(shù)字光刻頭的引擎支撐裝置。

背景技術(shù)

UVLDI系列DMD無掩模掃描式光刻機，基于先進的DLP技術(shù)，通過DMD滾動顯示圖像，控制運動平臺與圖像的滾動顯示同步來替代步進曝光。其投影曝光與移動相結(jié)合，并通過軟件載入MASK實現(xiàn)DMD幅面均勻性照明，真正實現(xiàn)面向工業(yè)化需求的高精度、高效率、大尺寸、任意圖形無掩模光刻。

現(xiàn)有DMD無掩模掃描式光刻機設(shè)備，由于光刻機高定位精度、高同步運動精度的特點，任何外界振動的傳入和內(nèi)部振動的干擾，都會引起兩者之間或者兩者相對物鏡位置的短暫錯位，這將會嚴(yán)重影響光刻質(zhì)量。引起系統(tǒng)內(nèi)部微振動并引發(fā)錯位的主要因素有地基振動的傳入，步進或者掃描過程中產(chǎn)生的反作用力和力矩，以及內(nèi)部世界(氣液管路和氣膜的振動)和外部世界的隨機噪聲等。為了消除各種振動因素對光刻機曝光質(zhì)量的影響，就要對整機系統(tǒng)采取有效的隔振和減震措施。

發(fā)明內(nèi)容

本實用新型的目的是解決現(xiàn)有DMD無掩模掃描式光刻機設(shè)備隔振不足、工作穩(wěn)定性差的缺陷，提供了一種基于DMD數(shù)字光刻頭的引擎支撐裝置，具有隔振效果好、工作穩(wěn)定性強的特點。

本發(fā)明通過如下技術(shù)方案實現(xiàn)：

一種基于DMD數(shù)字光刻頭的引擎支撐裝置，包括：

機體1，其包括：支架12、導(dǎo)軌11、工作臺13和機身14，所述導(dǎo)軌11的一端設(shè)置在所述支架12的一端上，所述支架12的另一端設(shè)置在所述工作臺13上，所述工作臺13設(shè)置在機身14上；

移動裝置2，所述移動裝置包括：第一電動缸21、滑板22、第二電動缸23、第三電動缸24，所述第一電動缸21的一端設(shè)置在支架12上，所述第一電動缸21的另一端與所述滑板22的一側(cè)鉸接，所述滑板22與導(dǎo)軌11垂直放置，所述滑板22的底部兩端分別設(shè)置在導(dǎo)軌11上，所述第二電動缸23的一端設(shè)置在滑板22上，所述第二電動缸23的另一端設(shè)置在所述第三電動缸24的中部，所述滑板22上設(shè)置有滑槽221，所述第三電動缸24設(shè)置在滑槽221內(nèi)；所述第三電動缸24可在滑槽221內(nèi)移動；

減震裝置3，其設(shè)置在所述工作臺13和所述機身14之間，所述減震裝置3包括：殼體31、彈簧35，所述殼體31包括相扣合的上殼體311和下殼體312，所述彈簧35設(shè)置在殼體31內(nèi)，所述彈簧35的一端設(shè)置在所述上殼體311上，所述彈簧35的另一端設(shè)置在下殼體312上，所述上殼體311的上端設(shè)置在所述工作臺13上，所述下殼體312的下端設(shè)置在所述機身14的頂端上。

進一步地，所述第一電動缸21包括：第一電動缸筒211和第一電動桿212，所述第一電動缸筒211的一端通過螺栓固定在支架12上，第一電動缸筒211的另一端與第一電動桿212的一端相配合，第一電動桿212的另一端與所述滑板22的一側(cè)鉸接，滑板22的底部兩端設(shè)置有燕尾槽體，所述導(dǎo)軌11上設(shè)置有燕尾柱體，所述滑板22的底部兩端與所述導(dǎo)軌11通過燕尾槽連接，所述滑板22可在導(dǎo)軌11上移動。

所述第二電動缸23包括：第二電動缸筒231和第二電動桿232，第二電動缸筒231的一端通過螺栓固定在滑板22上，電動缸筒231的另一端與第一電動桿232的一端相配合；第三電動缸24包括：第三電動缸筒241和第三電動桿242，第二電動桿232的另一端通過螺栓固定在第三電動缸筒231的中部，第三電動缸筒241的一端與第三電動桿242的一端相配合，第三電動桿242的另一端與數(shù)字光刻引擎相連接。