[實用新型]一種基于DMD數字光刻頭的引擎支撐裝置

有效

• 申請號: 201821824322.8
• 申請日: 2018-11-07
• 公開（公告）號: CN209356845U
• 公開（公告）日: 2019-09-06
• 發明（設計）人: 盧振武;孫強;許文斌;藺春波;劉建卓;許家林;王鶴;徐佳
• 申請（專利權）人: 長春長光中天光電科技有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 長春吉大專利代理有限責任公司 22201
• 代理人: 劉世純

1.一種基于DMD數字光刻頭的引擎支撐裝置，其特征在于，包括：

機體(1)，其包括：支架(12)、導軌(11)、工作臺(13)和機身(14)，所述導軌(11)的一端設置在所述支架(12)的一端上，所述支架(12)的另一端設置在所述工作臺(13)上，所述工作臺(13)設置在機身(14)上；

移動裝置(2)，所述移動裝置包括：第一電動缸(21)、滑板(22)、第二電動缸(23)、第三電動缸(24)，所述第一電動缸(21)的一端設置在支架(12)上，所述第一電動缸(21)的另一端與所述滑板(22)的一側鉸接，所述滑板(22)與導軌(11)垂直放置，所述滑板(22)的底部兩端分別設置在導軌(11)上，所述第二電動缸(23)的一端設置在滑板(22)上，所述第二電動缸(23)的另一端設置在所述第三電動缸(24)的中部，所述滑板(22)上設置有滑槽(221)，所述第三電動缸(24)設置在滑槽(221)內；所述第三電動缸(24)可在滑槽(221)內移動；

減震裝置(3)，其設置在所述工作臺(13)和所述機身(14)之間，所述減震裝置(3)包括：殼體(31)、彈簧(35)，所述殼體(31)包括相扣合的上殼體(311)和下殼體(312)，所述彈簧(35)設置在殼體(31)內，所述彈簧(35)的一端設置在所述上殼體(311)上，所述彈簧(35)的另一端設置在下殼體(312)上，所述上殼體(311)的上端設置在所述工作臺(13)上，所述下殼體(312)的下端設置在所述機身(14)的頂端上。

2.如權利要求1所述的一種基于DMD數字光刻頭的引擎支撐裝置，其特征在于，所述第一電動缸(21)包括：第一電動缸筒(211)和第一電動桿(212)，所述第一電動缸筒(211)的一端通過螺栓固定在支架(12)上，第一電動缸筒(211)的另一端與第一電動桿(212)的一端相配合，第一電動桿(212)的另一端與所述滑板(22)的一側鉸接，滑板(22)的底部兩端設置有燕尾槽體，所述導軌(11)上設置有燕尾柱體，所述滑板(22)的底部兩端與所述導軌(11)通過燕尾槽連接，所述滑板(22)可在導軌(11)上移動；

所述第二電動缸(23)包括：第二電動缸筒(231)和第二電動桿(232)，第二電動缸筒(231)的一端通過螺栓固定在滑板(22)上，電動缸筒(231)的另一端與第二電動桿(232)的一端相配合；第三電動缸(24)包括：第三電動缸筒(241)和第三電動桿(242)，第二電動桿(232)的另一端通過螺栓固定在第三電動缸筒(231)的中部，第三電動缸筒(241)的一端與第三電動桿(242)的一端相配合，第三電動桿(242)的另一端與數字光刻引擎相連接。

3.如權利要求1所述的一種基于DMD數字光刻頭的引擎支撐裝置，其特征在于，所述減震裝置(3)的個數為五個，其中，四個放置在工作臺(13)四個角處，另外一個放置在工作臺(13)四角交叉線中點處。

4.如權利要求1所述的一種基于DMD數字光刻頭的引擎支撐裝置，其特征在于，所述彈簧(35)的一端與所述上殼體(311)之間設置有上保護墊(33)，所述彈簧(35)的另一端與所述下殼體(312)之間設置有下保護墊(34)。

5.如權利要求1所述的一種基于DMD數字光刻頭的引擎支撐裝置，其特征在于，所述上殼體(311)的上端與所述工作臺(13)之間設置有上隔聲摩擦墊(37)，上隔聲摩擦墊(37)通過固定螺栓(32)固定在上殼體(311)上接觸面處；所述下殼體(312)的下端與所述機身(14)的頂端上之間設置有下隔聲摩擦墊(36)。