[實用新型]一種半導體生產用的有毒氣體排放氣體解毒裝置

有效

• 申請號: 201821800930.5
• 申請日: 2018-10-25
• 公開（公告）號: CN209378704U
• 公開（公告）日: 2019-09-13
• 發明（設計）人: 王軍;俞利群;俞云琪
• 申請（專利權）人: 大連八方流體技術有限公司
• 主分類號: B01D53/00
• 分類號: B01D53/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本實用新型公開了生產裝置解毒技術領域的一種半導體生產用的有毒氣體排放氣體解毒裝置，包括生產裝置本體，生產裝置本體的左側內腔設置有壓力傳感器，生產裝置本體的左側壁設置有解毒開關，生產裝置本體與解毒裝置之間設置有排泄管道，水箱的內腔設置有水泵；本實用新型通過在生產裝置與解毒中間設置了連接管，在需要解毒的時候防止釋放的蒸汽損失，可以邊解毒邊將泄出去的熱氣再回收到生產裝置的內部，將解毒時釋放蒸汽中的毒氣回收利用，在生產裝置與解毒中間還設置有排泄管道，在發生意外或者需要清理生產裝置的時候及時將熱氣泄出，減少了安全損失，使用方便，便于大規模推廣使用。

技術領域

本實用新型公開了一種半導體生產用的有毒氣體排放氣體解毒裝置，具體為生產裝置解毒技術領域。

背景技術

半導體指常溫下導電性能介于導體與絕緣體之間的材料。半導體在收音機、電視機以及測溫上有著廣泛的應用。如二極管就是采用半導體制作的器件。半導體是指一種導電性可受控制，范圍可從絕緣體至導體之間的材料。無論從科技或是經濟發展的角度來看，半導體的重要性都是非常巨大的。今日大部分的電子產品，如計算機、移動電話或是數字錄音機當中的核心單元都和半導體有著極為密切的關連。常見的半導體材料有硅、鍺、砷化鎵等，而硅更是各種半導體材料中，半導體的分類，按照其制造技術可以分為：集成電路器件，分立器件、光電半導體、邏輯IC、模擬IC、儲存器等大類，一般來說這些還會被分成小類。此外還有以應用領域、設計方法等進行分類，雖然不常用，單還是按照IC、LSI、VLSI(超大LSI)及其規模進行分類的方法。此外，還有按照其所處理的信號，可以分成模擬、數字、模擬數字混成及功能進行分類的方法。在商業應用上最具有影響力的一種。依然存在大量的不穩定性，通常為防止生產裝置內氣體壓力過大產生爆炸，會在生產裝置上方設置解毒閥，這種情況下，解毒閥由生產裝置頂部向上伸出，直接與大氣相連通，采用類似結構的生產裝置解毒裝置，被解毒釋放的蒸汽還含有大量毒氣，這些蒸汽會源源不斷的向外排放，毒氣損失較多，會浪費大量能源，會大大減少能源的浪費，為此，我們提出了一種半導體生產用的有毒氣體排放氣體解毒裝置投入使用，以解決上述問題。

實用新型內容

本實用新型的目的在于提供一種半導體生產用的有毒氣體排放氣體解毒裝置，以解決上述背景技術中提出的問題。

為實現上述目的，本實用新型提供如下技術方案：一種半導體生產用的有毒氣體排放氣體解毒裝置，包括生產裝置本體，所述生產裝置本體的左側內腔設置有壓力傳感器，所述生產裝置本體的左側壁設置有解毒開關，所述生產裝置本體的底部設置有兩組滾輪，所述生產裝置本體的頂部通過連接管與解毒裝置的頂部連接，所述生產裝置本體與解毒裝置之間設置有排泄管道，所述排泄管道的一端與生產裝置本體連接，且排泄管道貫穿解毒裝置的內腔另一端與排氣噴頭連接，所述解毒裝置的底部設置有水箱，所述水箱的內腔設置有水泵，所述解毒裝置的右側壁底部設置有控制裝置，所述控制裝置頂端設置有冷風機。

優選的，兩組所述滾輪的一側設置有卡扣。

優選的，所述水泵的外側設置有保護層。

優選的，所述控制裝置與冷風機電性連接。

優選的，所述連接管和排泄管道上分別設置有控制閥。

與現有技術相比，本實用新型的有益效果是：本實用新型通過在生產裝置與解毒中間設置了連接管，在需要解毒的時候防止釋放的蒸汽損失，可以邊解毒邊將泄出去的熱氣再回收到生產裝置的內部，將解毒時釋放蒸汽中的毒氣回收利用，減少了能源大量浪費，在生產裝置與解毒中間還設置有排泄管道，在發生意外或者需要清理生產裝置的時候及時將熱氣泄出，減少了安全損失，本實用新型結果簡單，使用方便，便于大規模推廣使用。

附圖說明

圖1為本實用新型整體結構示意圖；

圖2為本實用新型減壓裝置側視圖。